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碳化硅播客EP.2|揭开碳化硅SiC芯片技术制造的神秘面纱

碳化硅播客EP.2|揭开碳化硅SiC芯片技术制造的神秘面纱 英飞凌工业半导体
2025-05-09
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导读:在最新一期的英飞凌"工程师播客"中,技术专家Christian Stringer博士深入探讨了碳化硅(SiC)这一革命性半导体材料的关键特性与制造工艺。

在最新一期的英飞凌"工程师播客"中,技术专家Christian Stringer博士深入探讨了碳化硅(SiC)这一革命性半导体材料的关键特性与制造工艺。作为在碳化硅领域深耕15年的资深专家,Stringer博士从材料科学角度解释了碳化硅独特的四面体晶体结构如何赋予其类金刚石的特性——9.6的莫氏硬度仅次于钻石,远超硅材料的6.5-7。


节目详细剖析了碳化硅制造过程中的三大核心技术挑战


  • 干法刻蚀工艺需要精确控制离子轰击能量来形成微米级沟槽结构;

  • 高温离子注入工艺在1600℃以上的极端条件下完成掺杂原子的激活;

  • 独特的氧化界面处理技术通过氮气钝化显著提升器件可靠性。


英飞凌是业界少数掌握沟槽栅碳化硅MOSFET量产技术的企业之一,其1120晶面沟槽侧壁处理工艺实现了最优电子迁移率。


点击收听完整内容,了解第三代半导体如何重塑电力电子未来。



正如专家所言:"再好的碳化硅芯片,也需要匹配的封装技术才能发挥全部潜力。"下期节目将带您继续探索碳化硅封装的奥秘,敬请期待这场半导体材料的进化之旅。


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