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凸版中芯彩晶技术专家光临我司参观指导

凸版中芯彩晶技术专家光临我司参观指导 众鸿
2020-01-16
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导读:众鸿&中芯彩晶 2020年1月15日下午,凸版中芯彩晶电子(上海)有限公司三名技术专家团队光临



众鸿&中芯彩晶

        2020年1月15日下午,凸版中芯彩晶电子(上海)有限公司三名技术专家团队光临我司。重点对我司自主研发投产的ZHT200型号涂胶显影设备进行了深入的了解并提出宝贵建议。



中芯彩晶







        凸版中芯彩晶电子(上海)有限公司是日本凸版印刷有限公司和中芯国际集成电路制造有限公司以合资形式于2004年11月成立。公司主要生产影像传感器专用彩色滤光片和微镜,其产品主要应用于照相手机、数码相机、数码摄像机等产品上。合资控股方日本凸版印刷是彩色滤光片技术的全球领先者,公司排名全球500强之列;合资方中芯国际是中国领先的芯片代工厂之一,也是一家世界领先的半导体制造厂。两者强强联合,共同投资9200万美金,在中国组建首批制造及销售影像传感器专用彩色滤光片和微镜的公司。



众鸿电子新涂胶显影设备

   

        随着全球半导体集成电路快速发展及中国集成电路制造领域飞速扩建、扩产,在未来10年内涂胶显影设备面临大量需求,目前集成电路制造(4寸、6寸、8寸)领域于日本东电(TEL)再制造设备(二手设备翻新、改造)为主,12寸则全部依赖于日本东电(TEL)、日本迪恩士(DNS)全新设备。

全球电子产品革新及创新领域需求的化合物半导体【砷化镓(GaAs),氮化镓(GaN),滤波器(Filter)】芯片(4寸,6寸,8寸),中国这两年全面引进海外工艺技术及强化研发并小批量制造中,在未来3年内将会大批量投入生产,需要大量的涂胶显影设备,但是目前全球涂胶显影再制造设备极缺,无法满足市场的需求,设备原厂全身投入12寸芯片制造设备更高版本研发及12寸芯片制造量产用新设备制造上。

基于以上行业大背景,我司通过在日本东电(TEL)及日本迪恩士(DNS)再制造设备翻新、硬件改造、软件改造完善等方面累计的丰富经验,充分发挥服务于半导体集成电路再制造设备多年的技术优势的基础上,进行了很多核心技术升级。 同时我司也意识到二手设备将限制公司更深层次的发展,故在我司总经理金浩天先生的带领下,我司全体技术部同仁全身心投入到新型涂胶显影设备研发项目中。

        我司自主研发新设备主要推向化合物半导体【砷化镓(GaAs),氮化镓(GaN),滤波器(Filter)】芯片(4寸,6寸,8寸)制造领域。通常在IC开发、制造工艺中用于感光液涂布及显影工艺,一般称之为Track设备。我们研发的设备(Track设备)上管理涂胶、显影工艺的处理模块 的说明如下:

工艺名称 工艺相对 Module 名  ( Unit 名 )
少水化处理 ( Adhesion Promoter Coating ) HMDS unit
感光液涂布 ( Resist Coating ) COAT  unit
Pre-Baking  LHP unit ( Low Temp Hot  Plate unit )
Hard baking HHP Unit ( High temp Hot  Plate unit )
显影工艺 ( Development ) DEV Unit 
Post - baking LHP unit ( Low Hot Plate  unit )



关于众鸿电子




        众鸿电子于2011年1月创建,是一家集科研、生产、经营于一体的高新技术民营企业,在半导体集成电路设备制造领域凭借扎实的专业技术及管理经验涉猎设备再制造、软硬件优化产能提升、核心配件维修等服务。

        我司拳头产品是专用光阻涂胶显影设备,该设备广泛应用于硅片(Si)等集成电路制造领域。我司成立至今已获得专利30余项,合作客户有中芯国际、台积电、三安集成等。2018年底我司更是投入大量心血用于自主研发制造涂胶显影新设备,并于2019年9成功研发制造出属于众鸿人的ZHT200型号涂胶显影新设备

        我司将于2020年6月搬至上海临港新片区新侨产业园区南4号楼。公司计划在临港投资建设半导体涂胶显影设备的研发及生产基地,未来5年,成为一家行业内产品技术和市场占有率均领先的中国本土化半导体设备研发和制造高科技企业。     


联系电话:021-50124230

联系邮箱:soffe_he@zh-et.com.cn

联系地址:上海市浦东新区沈梅路600号A幢一楼



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