资讯 | 上海对外经贸大学“访万企”第11调研小队走进众鸿半导体

01、公司概况

上海众鸿半导体设备有限公司是一家专注于半导体核心装备国产化的高新技术企业，成立于2011年，总部位于上海临港新片区，隶属于高端智能装备制造业。公司致力于通过“研发创新+制造升级”双轨路径，突破半导体涂胶显影、清洗及热处理等关键设备的国产化瓶颈，构建自主可控的技术与产品体系。

围绕“精密装备驱动芯片智造”的理念，上海众鸿半导体设备有限公司已形成 ZHT 涂胶显影机、ZHS 清洗设备、ZHF 热处理系统三大核心产品矩阵，覆盖硅基半导体、化合物芯片（SiC/GaN）、先进封装等领域。目前产品通过中芯国际、三安集成等头部客户验证，并在长三角、京津冀等区域建立技术服务中心，逐步构建覆盖芯片制造核心环节的国产装备生态网络。

02、调研流程

丁旭总助为来访师生进行企业介绍，围绕“科技创新引领的新质生产力”主题，聚焦国家和地方经济高质量发展中的难点、痛点问题进行分享与问题解答。

“访万企，读中国”第11调研队于上海众鸿半导体设备有限公司合影留念。

03、企业问答

A：公司成立以来有将近100项左右的专利，包括实用新型发明专利等，未来还会更多。公司在滤波器芯片领域做得非常好，近两年开始做碳化硅芯片，设备也做得很漂亮，获得了很多碳化硅的客户。专利是维持公司高竞争力的核心

A：公司有研发自己的技术以及本土化的计划，此外还在细节方面做一些突破，比如加热控制、温度控制等关键技术的研发。同时，公司也在探索新的芯片材料，如碳化硅等，以满足未来市场需求。

A：低空经济与公司所在产业有一定相关性。如果低空经济采用的芯片方向转向碳化硅，将带动碳化硅芯片工厂的增加和产能的提升，从而增加对公司设备的需求，使设备更易销售。

A：公司的设备针对不同种类的芯片有不同的投入、机型、开发和应对。目前量产的产品主要是化合物，尤其是碳化硅，其特性是耐高温、耐高压、高频转换。为了适配这些新兴工艺，设备做了很多升级改造。对于导航和通信这两方面，公司是芯片制造工厂的供货商，而制造工厂则根据下游企业的需求来生产芯片，因此会针对不同的应用领域进行不同的技术研发。