SEMICON 2025
SEMICON CHINA 2025 将于 3 月 26-28 日在上海新国际博览中心盛大启幕。作为全球半导体产业年度盛会，届时将汇聚海内外全产业链领军企业共襄盛举。上海众鸿作为半导体核心装备领域的创新引领者，将携全新涂胶显影设备HST300MINI、ZHT-300及解决方案亮相此次SEMICON，期待新老客户莅临展位探寻战略合作新机遇，共话产业发展趋势!
TRACK系列新产品预告
HST300MINI
基本信息
适用晶圆尺寸：12&8inch（可兼容）
设备尺寸：5890(D)x2425(W)x3300(H) mm
翘曲度：2mm
主应用领域
逻辑芯片
产品优势
1. 支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接
2. 前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺
3. 五层叠加框架结构，占地面积小
4. 采用全新架构，WPH＞250
5. 20个Spin单元，60个冷热盘
6. 可根据客户需求进行设备配置
7. 支持TRMS,EAP自动化系统
8. 支持SECS通信和AMHS系统
9. 有SVID输出，支持FDC
ZHT-300
基本信息
适用晶圆尺寸：12&8inch（可兼容）
设备尺寸：2970(D)*2000(W)*2665(H)mm
翘曲度：2mm
主应用领域
先进封装
产品优势
1. 支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接
2. 前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺
3. 自研高精度冷热板，满足高精度制程需求
4. 叠加式结构布局，单位面积产出高
5. 可根据客户需求进行设备配置
6. 零部件国产化，大幅降低成本
7. 支持TRMS,EAP自动化系统
8. 支持SECS通信和AMHS系统
9. 有SVID输出，支持FDC
观众预注册
【扫描登记】
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如何找到我们
地点：上海新国际博览中心（浦东新区龙阳路2345号）
时间：2024年3月26日（周三）-3月28日（周五）9:00-17:00
展位：E7馆7539号
电话：021-50124230
【展馆平面图】
【如何到达众鸿展位】
交通指南
地铁
2号线龙阳路站-近1号登记大厅
7号线花木路站-近2号登记大厅
飞机
1、从浦东机场出发
出租车：线路长度30公里
乘坐磁悬浮列车至龙阳路站，到达龙阳路站后可换乘轨道交通7号线坐一站至花木路下。
搭乘机场三线至龙阳路轨道交通站，换乘轨道交通7号线花木路下。
2、从虹桥机场出发
出租车：线路长度27公里
预约来访
届时欢迎新老客户莅临众鸿展位及临港研发生产基地参观访问，如有需求请联系我们！
总机：021-50124230
地址：上海市临港新片区沧海路2828号7栋
预约来访展位/生产基地
关于众鸿
上海众鸿创始于2011年1月，聚焦半导体核心制造领域。是集研发、制造、市场于一体的上海市高新技术认证企业，上海市“专精特新”企业，已通过ISO9001认证，获得专利近百项。目前自研设备有涂胶显影设备、单片旋转式清洗设备、立式炉管设备、快速退火炉等，广泛应用于半导体芯片制造等高科技领域。公司于2021年3月在上海临港钻石园投资建设制造中心，已实现规模化量产。
