资讯 | 众鸿高效交付自研涂胶显影设备，硬核实力护航国产碳化硅芯片制造！

设备交付

本次采购方是国内头部综合型半导体设计与制造（IDM）企业之一。该设备的投入使用，将精准对接两大核心需求：一方面，满足国内新能源汽车产业对碳化硅芯片的迫切制造需求，为新能源汽车的功率器件升级提供关键装备支撑；另一方面，将助力国内 8 吋碳化硅衬底及相关工艺装备的协同发展，加速推动国产碳化硅产业链的完善与升级。

作为深耕半导体装备领域的企业，众鸿在国产化进程中始终走在前列。目前已实现 90% 以上零部件国产化，这一成果不仅大幅降低了对外部供应链的依赖，更在保障设备稳定供应的同时，为国产化替代打下了坚实基础。

在满足客户个性化需求方面，众鸿展现出了强大的软硬件定制化能力。依托深厚的技术积累，公司可深度配合客户的工艺开发需求，量身定制符合特定生产场景的设备，让设备与工艺实现无缝衔接，最大化提升生产效率。

“质量可靠”是众鸿的核心竞争力之一。从核心部件选型到生产组装，再到出厂前的多轮测试，建立了完善的生产制造流程，每一个环节都严格把控，确保交付到客户手中的设备质量可靠、性能稳定，能够从容应对高强度的生产需求。

“快速响应，高效交付” 是众鸿的一贯准则。从需求沟通到方案确定，再到设备研发与生产，众鸿团队以高效的执行力缩短了交付周期，及时满足了客户的生产计划，彰显了国产设备企业的服务速度与担当。

此次交付只是众鸿发展道路上的一个新起点。众鸿将始终按照高标准、严要求，坚持精益求精的工匠精神，牢固树立“为客户创造价值”的发展理念，信守约定，忠实履行承诺，充分发挥在化合物半导体细分领域的工艺优势，持续开拓市场，为更多客户提供质量优良、性价比更高的半导体设备。

关于ZHT-200

ZHT-200是众鸿首款自研涂胶显影设备，广泛应用于常规硅基半导体芯片制造领域及化合物半导体的碳化硅、砷化镓、滤波器等领域。客户重复采购率高，目前交付客户端并投入量产使用的设备已超 40 台。

【ZHT-200 实拍图】

    产品各项优势如下

1	支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接
2	前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺
3	可根据客户需求进行设备配置
4	150mm/200mm两种产品兼容
5	支持复合板，支持循环水控温冷板
6	支持工艺参数数字化收集
7	支持TRMS,EAP自动化系统
8	支持SECS通信和AMHS系统
9	SVID输出,支持FDC
10	支持OHT天车

关于众鸿

上海众鸿创始于2011年1月，聚焦半导体核心制造领域。是集研发、生产、市场销售于一体的上海市高新技术认证企业，上海市“专精特新”企业，临港新片区重点企业，已通过ISO管理体系认证。目前自主研发设备有：涂胶显影设备、单片旋转式清洗设备、立式炉管设备、快速退火炉等。广泛应用于半导体芯片制造领域，至今已获得专利近百项。

公司于2021年3月在上海临港钻石园投资建设制造中心，厂房面积6846㎡，万级车间756㎡，千级车间322㎡， 已实现规模化量产。