已投动态丨北京京仪自动化装备技术股份有限公司新申请《一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法》发明专利

2025年3月25日，国家知识产权局公布了一项由北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的发明专利《一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法》，专利的公开号为CN119687586A，申请日期为2024年12月。

本发明涉及集成电路行业半导体专用温控系统技术领域，提供一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法，其中，带预冷的自复叠半导体温控系统包括循环液子系统、预冷子系统和自复叠子系统，预冷子系统包括第一蒸发器和预冷压缩机，预冷子系统通过第一蒸发器与循环液子系统连接；自复叠子系统包括自复叠压缩机、第二蒸发器和冷凝蒸发器，自复叠子系统通过第二蒸发器与循环液子系统连接，自复叠子系统通过冷凝蒸发器与预冷子系统连接。本申请实现提高了自复叠制冷系统的应用范围，既可在高温区+80℃～40℃温区稳定运行，也可保证自复叠制冷系统在140℃～40℃内稳定运行，减少开机超压宕机的风险及降温过程中自复叠子系统压力偏高的现象。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司成立于2016年，总部位于北京，公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter）。自设立以来，公司获得北京市科学技术进步奖二等奖、北京市科学技术奖三等奖、中国机械工业科学技术奖三等奖、国家级专精特新“小巨人”企业、“中国创翼”创业创新大赛北京市选拔赛一等奖、北京市企业技术中心、北京市知识产权试点单位等多项重要荣誉。与此同时，公司积极承担国家级重点专项研发任务，助力国内集成电路产业关键产品和技术的攻关与突破。