半导体是关乎国家经济和现代化建设的战略性产业，半导体设备是支撑电子行业发展的基石，本土半导体设备与核心部件国产化能力如何进一步提升是急切需要破解的问题。
2024年9月25日至27日，第十二届半导体设备与核心部件展示会（CSEAC 2024）在无锡太湖国际博览中心举办。两家耀途早期投资组合——星微科技、诺睿科携最新产品、技术亮相本届展会。
据介绍，作为设备领域的专业会议，CSEAC 2024助力半导体企业市场拓展与产品推广，促进技术交流、经贸合作，为“中国芯”进程发展注入活力和动力。今年展商数量、展览面积创历届新高。CSEAC 2024设五大展区，展示范围覆盖晶圆制造设备、核心部件及耗材、封测设备等，展会面积达60000㎡。
星微科技：A1-T44
星微科技成立于2015年，主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品；2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发；2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂；2020年起，公司的精密运动平台及传输系统在半导体、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。此前耀途资本领投星微A轮融资。
此次参展产品包括已实现稳定批量出货的晶圆传输产品EFEM和精密运动控制平台。
星微的晶圆传输系统以EFEM为主要产品，专为半导体制造行业设计，集成了自主研发的核心组件：Load Port、机械手、预对准，确保在生产过程中实现高效、安全和精确的晶圆搬运。
星微的高精密平台专为满足高精度制造和测试需求而设计，集成自主研发的核心组件气浮轴、主动隔振、电机组、驱控系统等，确保平台具备卓越的精度、稳定性和动态性能。
此外，星微科技宣布了其最新产品——真空晶圆传输机械手。作为晶圆真空传输系统中的基板搬运机器，星微科技的真空机械手采用全闭环控制方式，全连杆的双臂机构面对多工位可实现更高的传动效率；通过交叉臂的紧凑结构，配适不同种类的VTM等洁净环境，方便布局与安装，避免了对臂和腔室的干扰，因此可以在不扩大腔室的情况下可以比传统型号传输更长的距离；可根据不同工况，选配不同款式片叉，满足多种工况与工位的需求；搭载多圈绝对值编码器伺服电机，拥有更高的回转精度与更快的响应时间；高规格真空密封焊接波纹管，满足千级洁净环境下工作。
诺睿科：A1-58B
诺睿科成立于2022年12月，专注于前道半导体量测设备的设计研发。公司核心团队成员来自于全球数一数二的半导体量检测设备公司，在相关领域工作经验均超过10年以上，公司致力于深耕中国本土高速发展的半导体市场，并将适时拓展海外市场。此前耀途资本作为第一家机构投资人，独家投资诺睿科天使轮。
公司目前已推出OCD量测设备NKShape288，具有创新的硬件设计、最新的算法架构、精密的系统调校等特点，为半导体量测市场提供了一款高品质、高可靠性和高稳定性的OCD量测设备。NKShape288以28nm逻辑技术节点产品的量测为基础，同时完全适用于14nm、7nm FinFET逻辑产品的量测，以及DRAM和3D NAND存储产品的量测。
公司正在加速丰富产品线，将陆续推出OCD系列产品IR-OCD，针对高端应用的Film量测设备，以及其它量检测设备。其表示，未来还将携手合作伙伴，持续努力，为客户提供完善、可靠的量测解决方案。
