工 程 名 称：合肥长鑫12吋存储器晶圆制造基地超纯水系统项目
工 程 地 点：合肥经济开发区北区（空港经济示范区）
施 工 内 容：负责纯水系统设备安装，管道施工等工程。
走进项目
中电四承建的合肥长鑫超纯水系统项目，业主为合肥长鑫集成电路有限责任公司，是合肥市产业投资控股（集团）有限公司旗下全资子公司。本项目为目前国内产水最大的存储晶圆使用纯水制备项目，设计出水量达1495m3/H，水质为18M超纯水，本项目系目前国内晶圆制造使用18M超纯水产水量最大的项目，建设涉及设备种类多，单体体积大，均处于国内同等技术前列。承接作为国内三大存储器之一的合肥长鑫，对于公司后期承接水处理业务具有深远影响。
超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。主要应用于单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
17
11月
0CMH 临时RO系统供应
18
1月
100CMH 临时UPW水供应
18
4月
400CMH 正式超纯水水供应
18
6月
1200CMH 正式供水系统完成
项目建设初期，因为纯水系统施工特点为进场晚，工期紧，且本项目为目前国内产水最大的存储晶圆使用纯水制备项目，是当地政府及业主投资方重点关注项目，项目部进度和质量压力都十分巨大。
由一页图纸，到纵横交错的纯水系统，凭借的不仅是项目部人员起早贪黑的工作激情，还需要异于常人的耐心和超强的工作能力。项目带头人邓俊，带领着一批像他一样对工程事业充满热情的中电四人，完成着不允许存在丝毫误差的项目。每一次思考与计量，都为日后的圆满竣工积淀力量。
由于纯水系统涉及的管材管件复杂多样、标准不一，对材料采购造成巨大影响。为保障材料及时供应，公司项目部多次统计，反复审核，分区分块进行材料统计工作，最终经过合理预估，及时完成采购计划。
为保障使用方正常用水，项目部前期设计安装了1台临时集装箱制备RO水，中期设计制作了100CMH产水集装箱组件，其施工难度及临时供水形式均为国内首次使用。
《周易·系辞上》：参伍以变，错综其数。项目团队遇到的另一个难题就是“繁与多”。系统涉及的材料设备种类繁多，数量庞大，需配套使用的材料更是标准不一，需反复核对相应规格。本次施工涉及PVC、SGP、SUS304和SUS316等不同材质，焊接管、TUBE管等又有不同的施工方式，这样错综复杂的材料要求及施工要求，都对施工技术要求极高。项目部细细分组核对，现场亲自监督，多次反复抽检，最终圆满保障了施工质量。
身于项目，志在凌霄。心志不定，风雪载途亦倾覆；精神不灭，千钧压志志俱扬。
选择远方，追梦路上。期待晨曦,丛叶露珠闪莹光;攻坚克难，中电四成就伟大工程。
（文/郭耀元 邓俊 素材/邓俊 申飞）
END
