4月21日，2024年度河北省科学技术奖励大会在石家庄召开，中国电子系统工程第四建设有限公司（以下简称中电四公司）参研的“洁净受控环境营造关键技术及应用”荣获河北省技术发明一等奖。
洁净受控环境是芯片制造、晶圆研发、疫苗研制等高精尖行业研发生产活动所必需的根本环境保障，随着国际相关产品生产工艺不断变革，对洁净受控环境的要求愈加严格。该项目着眼于解决当前洁净受控环境营造过程存在的技术瓶颈，梳理出制约营造效果的三个关键环节：空调系统研发－空气环境设计－智能运行维护，构建了“高效处理－干扰抑制－精准调节”的成套技术体系。该项目发明了大风量下送风温湿度与洁净度高效协同处理技术，攻克了高洁净度大风量空气处理的难题；发明了单向流双温度送风、梯度压差营造和小温差风淋缓冲等气流调控成套技术，攻克了洁净受控环境中非定常扰动的难题；发明了送风参数先导性预测、高精度在线监测及并联模块化控制技术，攻克了传统控制系统运行稳定差及无法实现快速智能调节的难题。
通讯员 | 李亚倩
素材来源 | 创新研究院
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