中国自动驾驶博览会

慢轴大角度激光雷达扫描器由大角度振镜机构及驱动控制器组成，其中大角度振镜机构由振镜、钢带轮、放大机构、镜片座等几部分组成；本产品既可用于与谐振镜共同构成大口径双轴激光雷达扫描器，也可以作为独立部件与其他快轴扫描单元构成双轴扫描系统。

双轴谐振镜系统由谐振镜及其控制器组成；本产品适用于高频摆扫系统，也可单独进行试验研究工作。谐振镜组件依据外界指令输入信号的选择工作在零位静止或谐振运动状态，音圈电机驱动反射镜镜面进行双轴谐振旋转运动，主要用于实现对光束的高速旋转扫描控制。

微纳位移平台系统由微纳位移平台及其控制器组成。

微纳位移平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力，经过位移放大机构，柔性机构推动负载进行2X2 扫描定位，由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快，体积小，出力大刚度高，可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。

  一台光刻机中，至少需要用到30多个微纳位移平台。