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激光振镜、扫描振镜。这是一种高速扫描的器件，在激光打标设备上早已成熟应用。它机构简单体积小（无正弦机构），定位精度高（定位角偏差约2''），扫描速度极快（毫秒级），成本低。据有关资料介绍，核聚变中高速多波段紫外光谱检测已有使用。
光学振镜工作原理
振镜是一种优良的矢量扫描器件。它是一种特殊的摆动电机，基本原理是通电线圈在磁场中产生力矩，但与旋转电机不同，其转子上通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩，大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的角度时，电磁力矩与回复力矩大小相等，故不能象普通电机一样旋转，只能偏转，偏转角与电流成正比，与电流计的相似，故振镜又叫电流计扫描器(galvanomet ric scanner)。
图中， a ,b 是振镜，通过转动振镜a和b可以使入射光束投影到XY平面的指定位置。
具体x,y的坐标计算公式如下：
设 x 轴和y 轴反射镜之间的距离为e , y 振镜的轴线到视场平面坐标原点的距离为 d ,当 x , y 轴的光学偏转角分别为x 和y 时,视场平面上相应光点坐标为( x , y) ,且当 x = y = 0 时,x =y = 0 ,则
振镜a,b的偏转角θx 和θy与振镜a,b的控制电压Vx和Vy的关系为：
θx=kx*vx
θy=ky*vy
其中，Kx，Ky是系数。
所以通过控制Vx和Vy就可以控制振镜a,b的偏转角度。
光学振镜系统
激光振镜、扫描振镜系统是由驱动控制器与振镜电机模组构成的一个高精度、高速度伺服控制系统。
激光振镜、扫描振镜系统一般是由处理器、功率放大器、振镜电机、光电传感器、信号解调器组成的闭环控制系统。
如下图：
振镜电机器件图如下所示：
其中，弹簧负载为施加复位力矩的机械扭簧机构。
谐振镜工作原理
共振现象
一个具有与某物体固有频率相同频率的周期性外力作用于该物体，会使得该物体与该力在这个频率下同步振动，这样会使得物体振动的振幅增大。
固有频率
也称为自然频率，指物体做自由振动时，其位移随时间按正弦或余弦规律变化。（每个物体都有自己的固有频率，因为物体会向外辐射能量，物质分子是在不断运动的，只是我们不易察觉）。
共振频率
当系统受到的外界激励频率在固有频率附近时，会引发共振，此时系统的频率就称为共振频率。在共振频率下，很小的周期振动便可产生很大的振动，因为系统在这个过程中储存了动能。
那么当物体受到的外界频率与固有频率不一致时，由于物体的运动周期存在相位差，使物体振动的方向可能相反，会抵消掉一部分振幅带来的影响。
一个物体正在发生周期性的运动，它本身具有一个固有频率，只需要在跟随它的周期性，朝相同方向稍微施加一点力，就可以维持一个很大振幅的运动。
相反，如果不按物体固有频率，胡乱施加推力，不仅不能逐渐增加振幅，还会迅速使振幅下降。
弦乐器的共鸣箱，无线电的电谐振，包括电台，通过天线发射出的短波/长波信号，收音机通过将天线频率调至和电台电波信号相同频率来引起共振，从而接收信号，这些都是利用共振工作的。
采用与振镜近似的结构设计，但利用机械结构的共振原理，实现高速扫描的偏摆机构，被命名为1D谐振镜；从外形上看，谐振镜与振镜很相似，但带动镜片旋转的谐振杆更细更长，为保证在高速谐振过程中的运动面型精度，往往采用特殊材料例如金属铍（特点：坚硬、重量轻）来加工非常薄的反射镜片；由于这些特殊的加工工艺，使谐振镜能在保证±6°以上的机械行程情况下，达到4kHz-12kHz的扫描频率。
与振镜不同，谐振镜的位置编码器反馈的位置信号，不再与控制主令进行差分运算，仅作为回传信号发送至上位机，在工作过程中，谐振镜无法精密定位，其运动过程完全遵照共振原理，按正弦波往复运动，其运动频率是固定的，但其幅值可调。
谐振镜的设计结构其实是多种多样的，由于驱动方式比较简单，所以谐振镜驱动控制部分成本可以控制得比较低；但频率越高的谐振镜，工艺难度越大，加工成本越高。
光学振镜的应用
舞台激光图案
激光振镜、扫描振镜是一种很成熟的光路扫描器件，现在一些双光束分光光度计中将它用于光路切换，速度极快。工作时步进动作看上去像在高速振动，因此叫命名为振镜。较为成熟的是激光扫描，一般应用于舞台激光图案显示等演出场合。
舞台激光图案
工业领域
由于振镜具有扫描角度较大，分辨率高、重复定位精度高和响应频率快等特点，所以在激光打标行业（具有图像处理功能）具有广泛的应用。
安防领域
光学振镜这类精密器件多用于军工方向，但随着时代发展，有很多技术从军用逐渐向警用和民用转移，例如红外全景监控系统。
利用安装于码头、塔台、山顶的360°扫描云台，将全景红外成像拼接记录的图像处理体系，在现代安防领域越来越受到重视。
在红外全景监控系统中，方位向云台一直处于360°匀速旋转运动状态，不做任何处理的情况下，拍出来的单幅图像会带很严重的拖影，而拼接出来的图像是完全模糊的；因此，需要用动态稳像技术让图像更清晰，在云台运动过程中，根据运动的积分数据，利用一套摆扫反射装置，按拍摄帧率进行反向运动补偿；而实现这套补偿运动的装置，可以用快反镜，也可以用更经济实惠的振镜。
全景成像振镜动态稳像系统工作原理图
智能驾驶领域
振镜在智能驾驶领域也有着重要的应用方向——智能感知技术：激光雷达。
激光雷达在智能驾驶中主要用于探测周围环境信息，振镜便是其不可缺少的器件，在TOF激光雷达领域，体积比较小的微型振镜通常会作为激光雷达慢轴来使用。
振镜+转镜的激光雷达扫描器
谐振镜的应用
医疗及工业领域
1D高频谐振镜的一个典型应用场景，是医疗及工业领域中用于成像的激光扫描共聚焦显微成像系统；最初这个方向是尝试用振镜进行扫描，但很快大家发现，在大行程工作的时候，振镜的扫描频率很难上100Hz，远远达不到扫描帧数的要求；有的公司就经过长时间的技术及工艺探索，用谐振镜实现了这一类超高速激光扫描应用。
智能驾驶领域——激光雷达
在激光雷达应用领域，由于1D谐振镜可以轻易达到1kHz以上的扫描应用，就有激光雷达制造商尝试用谐振镜来设计激光雷达快轴，在对定位精度要求不高的激光雷达扫描场合，将谐振镜作为快轴，振镜作为慢轴的激光雷达扫描器，具有线数高，集成性高，体积小的特点，在大光斑激光雷达扫描领域，被越来越多的企业和研究单位青睐。
摆动焊和摆扫切割
采用特殊柔性结构的双轴激光雷达扫描器，工作类似于快反镜，但其工作频率比快反镜高得多、而且成本低，虽然频率固定（≥1kHz），但幅值可调；在激光加工的特殊应用领域，例如摆动焊和摆扫切割，有着广泛用途和市场空间。
巅慧科技振镜类产品
光学振镜 ZJ-3050.01
1D谐振镜 XZJ-10.4000.01
2D谐振镜 XZJ-40.XXX.02
