阿卜杜拉国王科技大学 (KAUST) 的团队认为,Micro LED是用于头戴式显示器、手机和电视的下一代 Micro LED 显示器的“理想构建模块”,因为它们具有亮度、响应速度快和能耗低的特点。
与传统 LED 显示器一样,Micro LED 产品将需要红色、蓝色和绿色光源阵列。氮化物基合金是一组半导体材料,为实现这一目标提供了途径,因为通过正确的化学混合,它们可以发出所有三种颜色。然而,当氮化物器件的尺寸减小到微米级时,它们就变成了较差的光发射器。
博士生 Martin Velazquez-Rizo 解释说,减小器件尺寸的主要障碍是制造过程中对 LED 结构侧壁的损坏。Velazquez-Rizo 说:“缺陷为对发光没有贡献的漏电流提供了一条电气路径。”
这种影响随着 LED 尺寸的缩小而恶化,这之前将 LED 尺寸限制在 400 x 400 微米左右。现在,Velazquez-Rizo 的团队声称已经开发出只有 17 x 17 微米的亮红色铟镓氮化物 Micro LED。
Velazquez-Rizo 与同事 Zhe Zhuang、Daisuke Iida和Kazuhiro Ohkawa一起使用经过彻底校准的原子沉积技术创建了一个 10×10 的红色Micro LED阵列。然后使用化学处理消除对侧壁的损坏。
Velazquez-Rizo 说:“我们通过原子尺度观察证实,处理后侧壁具有高结晶度。” “进行这种类型的观察需要专门的工具和样品制备。”
据研究人员称,他们观察到设备表面每平方毫米的输出功率非常高,为 1.76 毫瓦——与之前报告的输出功率每 平方毫米不到 1 毫瓦的设备相比,这是一个显着的改进。然后,他们用绿色和蓝色铟镓氮化物Micro LED 展示了他们的红色Micro LED,以创建一个宽颜色范围的设备。
Velazquez-Rizo 表示,下一步将是进一步提高Micro LED的效率并将其横向尺寸减小到 10 微米以下。该团队的论文发表在Photonics Research 上。
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