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绵阳惠科8.6代线产能将增至210K/月

MicroLEDDisplay

2022-07-22

导读：7月21日消息，绵阳市生态环境局7月18日公布了《关于绵阳惠科光电科技有限公司绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目环评文件拟批复公示》文件。

7月21日消息，绵阳市生态环境局7月18日公布了《关于绵阳惠科光电科技有限公司绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目环评文件拟批复公示》文件。

文件显示，该项目名称为《绵阳惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器件210K技改扩能项目》，总投资25亿元，环保投资1000万元。

项目主要建设内容为：①购置化学气相成膜机、阵列涂布机、干法蚀刻机、液晶滴注等设备，新建洁净车间布置成盒工程液晶滴注工序；②现有产线新增MoNb（钼铌）靶材及对应蚀刻液使用；③将全厂IGZO（铟镓锌氧化物）蚀刻液变更为草酸（2~4%）、IGZO层光刻胶剥离液成分变更为二乙二醇丁醚（40-60%）、有机醇胺（5-15%）；④新增PFA光阻使用于在α-Si阵列工程钝化层后增加有机平坦层以提高产品性能；⑤依托阵列工程相关设备进行银制程研发试验；⑥配套新增废气处理设施、适应性改造污水处理系统，其余公辅设施均依托现有。

扩产前后全厂产品工艺方案与生产规模