独家新观点| 相干李帅为您现场解读：Micro LED - UV激光加工，面向未来的激光巨量转移和激光剥离技术路线

顺应国际Micro LED显示产业发展趋势，围绕“量产关键技术及产业链创新”主题展开的2021第五届中国（国际）Micro LED显示高峰论坛，定于2021年12月19日-21日在重庆融创国际会议中心召开。相干（北京）商业有限公司商务部销售及业务扩展经理李帅将发表主题报告：Micro LED - UV激光加工，面向未来的激光巨量转移和激光剥离技术路线。

演讲摘要：首批Micro LED显示产品已经投入到消费市场中。众所周知的是，Micro LED显示未来能否成功依赖于是否可以显著减低整体成本，包括生产效率和良率的提升，以及LED芯片尺寸的进一步缩小。其中一个关键挑战是实现可选择性的巨量转移，该技术可在将LED芯片从晶圆转移到基板的过程中主动增大待转芯片间距。当前有多种可选择性巨量转移的工艺方法，包括直接从晶圆到基板的LED芯片巨量转移，以及采用相对传统的方式，先将LED芯片转移到临时载板，再从临时载板转移到最终基板。下面所展示的UVtransfer技术，可加工处理晶圆上密集生长且尺寸极小的 Micro LED芯片，最终实现大尺寸显示屏的4k/8k超高分辨率。UVtransfer技术方案涵盖激光剥离、可选择性的巨量转移及修复，可实现Micro LED巨量转移工艺的高吞吐率及高良率，接下来会详细介绍UVtransfer技术的理论背景、系统架构及可扩展性。

创立于1966年美国，领先的激光器和激光解决方案的供应商，为商业、工业、生命科学、科研、和政府客户提供激光器、传感器和光学器件等产品

相干公司已是全球重要的光子学制造商和创新者之一。依靠设在加利福尼亚州硅谷中心地区的总部和遍布全球的办事处，相干公司可提供涉及众多不同市场和行业的独特、非凡产品组合。

当前，Micro LED的巨量转移技术路线分为精准抓取、自组装、激光诱导转移和转印技术等。Coherent相干公司是激光诱导转移技术的主要厂家。其原理为通过线激光对原基板快速扫描，使LED脱离原基板转移到中介载体，再通过类掩膜的方式精准将LED转移至目标基板。Coherent相干公司认为激光技术将是巨量转移理想的解决方案，可满足微米级的转移精度要求以及显示屏生产所需的处理速度。

Coherent相干公司与系统集成商合作开发并提供了LED制程中的剥离设备(Laser Lift off)和巨量转移设备（Laser Induced Forward Transfer） 。Dr. Kai Schmidt透露，这些设备都已在客户端批量装机并投入实际生产。目前在相干的应用实验室，也可以对客户的样品进行LIFT和LLO的工艺测试。

自从Micro LED技术走进人们的视野就被寄予厚望，被认为是下一代显示技术的风口，然而在发展之初，由于Micro LED的一些关键技术瓶颈还未取得突破，Micro LED量产问题任重而道远。在产业链上下游积极配合、共同努力下，Micro LED技术不断突破，商业化步伐正在逐步加快，国内Micro LED产业链已做好规模量产准备。自2017年起，横跨显示、LED、半导体三大领域的“中国（国际）Micro LED显示高峰论坛”已成功举办过四届，论坛质量稳步增长，主题与时俱进，参与嘉宾具有权威性和代表性，共同为显示产业发展献计献策，引导并见证了我国Micro LED技术和产业的发展。

本届大会，由两位行业顶级IP——郑有炓院士、欧阳钟灿院士，携17位企业大咖、院校专家到场，围绕“量产关键技术及产业链创新”进行交流探讨。康佳、錼创、芯颖显示、友达、京东方晶芯、天马、利晶微、辰显光电、欣奕华、奥宝、诺瓦星云、乾照光电、Topcon、相干、盟拓、南方科技大学、厦门大学等企业及单位领袖将献言2021第五届中国（国际）Micro LED显示高峰论坛，旨在推动我国Micro LED产学研用协同发展，从而在国际新型显示产业竞争中形成优势。

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