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这家国产企业再次交付Micro LED晶圆级AOI巨量检测设备

这家国产企业再次交付Micro LED晶圆级AOI巨量检测设备 MicroLEDDisplay
2024-08-19
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导读:这家企业自主研发与生产的Micro LED晶圆级AOI巨量检测设备顺利交付至Micro LED巨量转移领域头部客户

8月15日,由深圳市壹倍科技有限公司(以下简称“壹倍科技”)自主研发与生产的Micro LED晶圆级AOI巨量检测设备顺利交付至Micro LED巨量转移领域头部客户。至此,壹倍科技已完成该产品线的多批次成功交付,达成了该领域头部客户群的基本覆盖。
   
本次发货的用于Micro LED芯片的AOI量检测设备,采用超宽场、高NA、显微线扫光学成像系统与高通量图像处理算法,结合系统误差整合分析和校准技术、运动与图像像质的自适应补偿技术,可以对Micro LED工艺制程中的COW以及巨量转移前后的COC的晶圆进行全面的精细检查,同时具备亚微米级的全局位移量检出能力,因此可以有效地对巨量检测转移工序良率进行监测和管控。基于近几年在产线实践过程中针对巨量芯粒检测(单wafer超亿颗芯片)的数据分析和处理经验,壹倍科技掌握的Micro LED检测技术可在数分钟内检测 Micro LED COW (chip on wafer)或COC (chip on carrier)晶圆上数千万颗芯粒的缺陷检测或位置量测,最小可检出亚微米级的缺陷和偏移。

壹倍科技于2022年7月推出了国内首套Micro LED晶圆级PL巨量检测设备,在2023年初通过头部客户的验收,随后获得该客户批量重复订单。自2023年下半年,壹倍科技不断获得Micro LED行业领域头部客户群订单,并迅速进入量产阶段, 截至今日已完成多批次多台套订单的稳定持续的交付工作。

壹倍科技针对下游客户在COC巨量转移段的高通量的芯粒位置量测和缺陷检测需求,结合了PL、AOI及其他自主开发光学检测技术,已全面具备面向Micro LED行业晶圆级检测场景提供全链条量产解决方案的能力。未来壹倍将持续攻坚晶圆级检测核心技术,致力于为Micro LED显示行业的规模化量产以及大幅降本贡献重要力量!


来源:壹倍科技

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