牛津仪器等离子技术公司（Oxiford Instruments Plasma Technology，OIPT）宣布，已与台工研院（ITRI）合作，为ITRI的Micro LED研发项目提供多个PlasmaPro 100系统，包括蚀刻和沉积。
PlasmaPro 100 ICP工艺解决方案旨在支持前沿设备应用，如激光器、射频、电源和高级LED。
自2009年以来，ITRI一直在开发Micro LED技术。2018年，ITRI与MacroBlock、Unimicron和PlayNitride合作，在Computex展示了一个Micro LED模块。该研究所还致力于AR应用的Micro LED开发。
电子和光电子系统研究实验室副主任方博士评论说：“由于牛津仪器的尖端技术，ITRI与这家公司有着密切的合作，但这并不是我们选择他们提供最新系统的唯一原因。牛津仪器的应用解决方案、无与伦比的本地流程支持以及他们与我们的行业合作伙伴一起将实验室发展培育成生产标准的能力，是影响我们作出采购决策的关键因素。”
“我们很高兴ITRI选择与OIPT合作，在LED的下一个令人兴奋的发展阶段来开发Micro LED，该项目类似于三星的壁挂式电视。”OIPT的战略营销经理Robert Gunn说。
封面来源：拍信网正版图库
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