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Aixtron、Veeco、K&S展出了这些与MicroLED相关设备

Aixtron、Veeco、K&S展出了这些与MicroLED相关设备 近眼显示
2018-09-11
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导读:产出速度高达每小时18万颗?


SEMICON Taiwan 2018于台北南港展览馆举行,可见到主要设备厂商,如Aixtron、VEECO、Kulicke & Soffa Pte Ltd、旺硅、Toray皆有参展,提供功率元件与光电产业先进市场方向。



主题一:GaN Power 功率元件与5G RF Front End 功率放大器


针对于5G 时代来临,营运商与设备商加紧脚步对于5G 市场进行建设布局,加上电动车市场需求, RF Front- End 功率放大器与GaN Power 功率元件将成为下一明日之星。


Aixtron 与 VEECO 相继推出其对应机台,分别为AIX G5+C 与Propel emPower GaN MOCVD,产品可以处理6吋与8吋晶圆片,具有高度均匀性、产能与装置效能。


主题二: VCSEL 3D 感测与光达系统


VCSEL 未来5-10年市场应用成长动能将着眼与3D 感测与光达系统。3D 感测应用于手机之中,除了可达到解锁、行动支付、结合APP软件开发,未来将有更多想象空间;光达可应用于车用感测、智能交通监控、测量、工业应用、无人机与扫地机器人等等应用市场。


Aixtron 推出AIX G4-TM MOCVD 已大量用于众多客户量产在线;而VEECO 现阶段推出TurboDisc K475i™ As/P MOCVD,大幅增加红外线市场应用。


主题三:Micro LED / Mini LED 市场


Micro LED涵盖六大关键技术,包含磊晶与芯片设计、全彩化方案、检测、转移、修复、驱动与背板等。其中以磊晶与芯片设计是所有技术最为关键之处。LED 芯片厂商若能提供绝佳的芯片质量,将能大幅减少检测与修复上的成本。业界标准下,Micro LED 芯片波长均一性须达到2nm。


对应到市场需求上Aixtron 推出 AIX G5+C 全自动化磊晶设备提供最佳性价比;VEECO 则推出两款机台,分别为Propel enLight GaN MOCVD System系统与EPIK 868 提供更好的营运成本 (Cost of Ownership) ,因应市场需求。



Kulicke & Soffa与Rohinni 合作共同开发PIXALUX™固晶机台,因应Mini LED市场需求。相较于展场其他LED固晶设备,PIXALUX™以Mini LED (100微米x100微米的大小) 其产出速度高达每小时18万颗,放置精准度高达±10µm。未来,Kulicke & Soffa将朝向更高速度与精度进行持续开发。



旺硅本次虽未展出相关Micro LED 设备,然而因应Micro LED 市场需求,在晶圆黏接(Wafer Bonding)的方案之下,旺硅研究开发检测机台,MPI C1 机台在电极尺寸40x15µm都可进行旋光性与电性的检测,接受客户订购。


  文:LEDinside Joanne


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