在Micro LED技术商业化的过程中，改善制造技术以使量产符合经济效益是一大关键。不管是LED芯片制造商，转移技术开发厂商，面板厂还是终端产品品牌厂，整个生产链都致力于此一目标。
Francois J. Henley在2017年创立Tesoro Scientific公司，致力于改进Micro LED的生产方法。其研究论文“Novel In-Process Functional Test Equipment to Enable Micro LED Mass-Production”（用于Micro LED量产的新型制程中功能测试设备），获得本次LEDinside举办的「Micro LED前瞻技术」征文比赛第三名。Tesoro在制程中采用EL（电致发光）测试方法，能够在转移过程之前检测Micro LED芯片。Tesoro公司还提出LED质量测试和转移的集成解决方案，可用于下一代Micro LED显示器生产。
LEDinside特别专访Tesoro的总裁兼CEO Henley，深入了解该项技术如何创新和推动Micro LED技术的发展。
Francois Henley, CEO, Tesoro; Tesoro提供
制程中功能测试如何提高Micro LED生产良率
为了实现具有成本效益的Micro LED量产，Tesoro着眼于制造流程，发掘可以优化的关键制造步骤，以提高Micro LED的生产良率。文章指出，Micro LED制造流程的主要步骤包括Micro LED磊晶成长，建构转移载体，辨识已知有效之Micro LED芯片（KGD），巨量转移和Micro LED电路连接。
对于这些制造流程，Tesoro提出将制程中功能测试与其他步骤结合，从而提高整体Micro LED良率和Micro LED生产的成本效益。制程中功能测试是，在将LED芯片移动到转移载体之前，即从磊晶上检测Micro LED的缺陷。然后在巨量转移过程之前，制程中功能测试可以再次区分已知良好芯片（KGD），以避免将已损坏的LED转移到显示器基板。这样一来，基板和载体上有缺陷的Micro LED晶粒将在巨量转移之前就被排除，从而提高Micro LED的整体良率。
为此，Tesoro开发了一种新型电测方法。与光测方法相比，该方法可以更准确地识别Micro LED的缺陷。Tesoro还推出了波束定位（Beam-Addressed Release, BAR）的巨量转移方法，结合了制程中的EL测试，全面优化Micro LED制造技术。
Tesoro的非接触式EL测试和BAR巨量转移技术
Tesoro说明，EL测试能够检测出PL测试中未发现的缺陷，提供详细信息，以进一步降低生产过程中的缺陷率。然而，Henley表示，因为Micro LED尺寸太小，传统接触式EL测试方法并不适用。此外，要在磊晶或载体基板上单独测试数以百万计的Micro LED芯片是不可行的。为了解决这些难题，Tesoro开发了非接触式EL测试方法，在巨量转移之前有效地分类功能正常和LED。
Tesoro电测系统
Tesoro开发的非接触式电测方法，使用载体基板的结构和集成层来导入电流，并测试LED元件。根据测试结果，可以模拟已知良好芯片的良率，显示功能正常的Micro LED，从而提高Micro LED巨量转移的良率。
Tesoro还开发了独创的智慧组装方案，运用制程中KGD测试的结果和特定的架构，结合BAR技术和巨量组装过程。Henley解释，用于Micro LED巨量转移的烧蚀层也可以作为内部层嵌入载体基板内。该结构允许用光学方法选择单一Micro LED芯片，并高速转移到目标基板上。
通过将其非接触式电测技术与兼容的BAR巨量转移方法相结合，Teroso旨在开发出具有成本效益的Micro LED量产解决方案，并制定了一套设备规划，以满足研发和制造要求。
Tesoro提供
Tesoro的发展进程和未来合作机会
Henley表示，Tesoro预计在接下来的12到18个月，推出电测方法和BAR巨量转移的研发工具，但要开发针对消费型Micro LED产品的生产设备，Henley认为还需要至少两年时间。同时，随着Tesoro开始与其他LED厂商或面板厂建立合作关系，厂商可能会开始展示使用这些新的测试和巨量转移方法的成果。
为了进一步推动该技术的进步，Henley指出，Tesoro一直在准备A轮融资。此外，包括LED制造商和面板厂在内的多家行业企业，也与Tesoro建立合作关系，希望利用Tesoro的设备，开发出Micro LED显示屏幕制造流程。Henley表示，终端产品生产商们也对Tesoro的技术表示兴趣。一家手机制造商已经向Tesoro了解将该技术应用于便携式设备的可能性，一些汽车显示器生产商也希望借助Tesoro的解决方案将Micro LED技术纳入汽车产品和应用中。
论文比赛评审讲评
台工研院「巨量微组装产业推动联盟」(CIMS)和NCTU的评审们认为电测方法可能成为提高Micro LED良率的解决方案，并且期待进一步了解此技术的实务操作。
来源：LEDinside
封面来源：拍信网正版图库
＞ 「MicroLED前瞻技术」首奖—爱思强提高磊晶产能加速MicroLED技术发展
▼ 点击“阅读原文”，加Micro LED产业研究群！