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麻省理工团队发表全彩垂直Micro LED研究成果……

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2023-02-03

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麻省理工团队发表全彩垂直Micro LED研究成果

2月3日消息，近日，以麻省理工学院为首的研究团队在《自然》（nature）杂志上宣布，团队开发出全彩垂直堆叠结构Micro LED，阵列密度高达5100 PPI，尺寸仅为4μm，号称是目前所知拥有最高阵列密度和最小尺寸的Micro LED。

图片来源：《自然》

据介绍，为了实现高分辨率和微小尺寸的Micro LED，研究人员采用了基于二维材料的层转移（2D materials based layer transfer (2DLT)）技术。

图片来源：《自然》

该技术允许通过远程外延（remote epitaxy）或范德华（van der Waals epitaxy）外延生长、机械释放和堆叠LED等制作工序，在二维材料涂层衬底上生长近亚微米厚度的RGB LED。

研究人员特别指出，仅有9μm的堆叠结构高度是打造高阵列密度Micro LED的关键。

研究团队还在论文中展示了蓝光Micro LED与硅膜晶体管的垂直集成，适配于AM主动矩阵式驱动应用。研究团队表示，本次研究为制造AR/VR用全彩Micro LED显示器提供了新路线，同时也为更广泛的三维集成设备提供了通用平台。

论文链接：

https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1

设备厂商ClassOne获Micro LED制造商后续订单

2月3日消息，美国半导体电镀及表面处理设备供应商ClassOne Technology宣布，收到一家知名Micro LED制造商的后续订单。

ClassOne并未透露客户名称，仅表示该企业在全球均拥有制造基地，本次订单ClassOne将为其提供单晶源电镀系统Solstice® S8。据悉，这些新系统将安装在客户位于亚洲的新制造基地，用于Micro LED的大批量生产。

ClassOne介绍，Solstice® S8系统采用了其专有的GoldPro电镀反应器，能够提高生产效率与速度并降低设备成本。另外，Solstice® S8系统利用ClassOne独特的流体运动曲线技术，可提供高电镀率和领先的电镀特征均匀性。ClassOne预计，Solstice® S8系统将在今年第二季度开始发货安装。