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麻省理工团队发表全彩垂直Micro LED研究成果……

麻省理工团队发表全彩垂直Micro LED研究成果…… 近眼显示
2023-02-03
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麻省理工团队发表全彩垂直Micro LED研究成果


2月3日消息,近日,以麻省理工学院为首的研究团队在《自然》(nature)杂志上宣布,团队开发出全彩垂直堆叠结构Micro LED,阵列密度高达5100 PPI,尺寸仅为4μm,号称是目前所知拥有最高阵列密度和最小尺寸的Micro LED。

图片来源:《自然》

据介绍,为了实现高分辨率和微小尺寸的Micro LED,研究人员采用了基于二维材料的层转移(2D materials based layer transfer (2DLT))技术。

图片来源:《自然》

图片来源:《自然》

该技术允许通过远程外延(remote epitaxy)或范德华(van der Waals epitaxy)外延生长、机械释放和堆叠LED等制作工序,在二维材料涂层衬底上生长近亚微米厚度的RGB LED。

研究人员特别指出,仅有9μm的堆叠结构高度是打造高阵列密度Micro LED的关键。

研究团队还在论文中展示了蓝光Micro LED与硅膜晶体管的垂直集成,适配于AM主动矩阵式驱动应用。研究团队表示,本次研究为制造AR/VR用全彩Micro LED显示器提供了新路线,同时也为更广泛的三维集成设备提供了通用平台。

论文链接:
https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1


设备厂商ClassOne获Micro LED制造商后续订单


2月3日消息,美国半导体电镀及表面处理设备供应商ClassOne Technology宣布,收到一家知名Micro LED制造商的后续订单。

ClassOne并未透露客户名称,仅表示该企业在全球均拥有制造基地,本次订单ClassOne将为其提供单晶源电镀系统Solstice® S8。据悉,这些新系统将安装在客户位于亚洲的新制造基地,用于Micro LED的大批量生产。

ClassOne介绍,Solstice® S8系统采用了其专有的GoldPro电镀反应器,能够提高生产效率与速度并降低设备成本。另外,Solstice® S8系统利用ClassOne独特的流体运动曲线技术,可提供高电镀率和领先的电镀特征均匀性。ClassOne预计,Solstice® S8系统将在今年第二季度开始发货安装。

图片来源:ClassOne Technology

ClassOne表示,本次订单证明了Solstice平台的功能是客户加快Micro LED产品上市准备的关键,进一步验证了ClassOne在Micro LED领域拥有领先单晶圆处理能力和技术地位。

资料显示,ClassOne Technology总部位于美国蒙大拿州卡利斯佩尔(Kalispell, Montana),可为光电子、电力、5G、Micro LED、MEMS等应用市场提供各种电镀和湿法处理系统。

去年4月,ClassOne曾为Micro LED微显示器初创企业Raxium供应Solstice® S4单晶圆电镀系统,助力其开发AR/VR用Micro LED微显示器,推动产品量产进程。

 LEDinside

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