国内联合研发团队发表Micro LED研究成果

Micro-LED显示技术是一种将尺寸微缩化的半导体发光二极管（LED）以矩阵形式高密度地集成在一个芯片上的显示技术，是LED芯片与平板显示制造的交叉学科应用技术。相较于LCD与和OLED显示技术，除了产业链成熟度与制造成本，Micro-LED显示技术在亮度、响应速度、功耗、透明度、稳定性等方面具有显著优势，被广泛认为是下一代主流显示技术。如何实现效率、精度、良率兼具的巨量转移集成是学术和产业界共同关注的关键核心问题之一。在百舸争流的众多转移技术中，激光巨量转移技术逐步脱颖而出，承载着Micro-LED产业化征程的期盼。

近日，厦门大学、厦门市未来显示技术研究院和天马微电子组成的联合研发团队在SCIENCE CHINA Information Sciences杂志发表了题为“Super retina TFT based full color microLED display via laser mass transfer”的研究论文。论文深入探讨了面向超高像素密度TFT基Micro-LED全彩显示应用的激光巨量转移集成关键技术问题，并对激光剥离、激光转移修复、面板键合等制程所面临的工艺、装备及材料的挑战进行了系统分析。团队创新性提出了提升转移效率与良率的新方法和新技术，在业内首次成功制造出像素密度高达403PPI的超视网膜显示TFT基Micro-LED全彩屏，标志着Micro-LED显示技术的一项重大突破。