更智能的晶圆级功率器件测试

随着功率半导体器件日益复杂，精准高效的晶圆级测试变得至关重要。然而许多实验室仍在应对以下难题：手动探针与焊盘对齐拖慢整体效率，热漂移现象干扰测量精度，每次温度变化都需耗时重新校准。这些挑战不仅推高了成本、降低了数据可靠性，更会延误产品上市周期。

FormFactor公司推出的新型自动化高功率测量助手 (Autonomous High-Power Measurement Assistant)（适用于TESLA200和TESLA300探针台）彻底改变了这一局面。该解决方案融合先进自动化技术、精确定位能力和Contact Intelligence™技术，为工程师和商业领袖提供了最需要的三大价值：可靠的测试结果、更高的吞吐效率以及更低的测试成本。

工程师无需再耗费数小时处理重复性手动操作，可依托全自动化工作流程实现测试单元24/7不间断运行。

• 免手动操作——采用微加热单元(MHU)可将热测试速度提升高达4倍，团队能更快获得结果并持续推进项目。

• 内置精度保障——自动温控转换与探针-焊盘对准功能可保护精密焊盘，同时在整片晶圆上保持测量一致性。

• 更高吞吐量——多器件布局测试支持在单次操作中完成芯片内多个元件的检测，有效缩短周期时间并最大化设备利用率。

• 可靠数据——每次触点的动态控制可优化接触电阻(Rc)，确保在-55°C至+250°C宽温域内获得可重复的高质量数据。

对实验室经理和高管而言，这意味着在不牺牲质量的前提下，能显著提升生产效率、缩短测试周期，并获得更清晰的产品上市加速路径。

该系统的核心是一套新研发的可编程电动探针座，具备亚微米级精度（0.3 µm）。这些电动探针座不仅能实现精确的探针放置，还能校正最微小的对准误差，提供无与伦比的重复定位精度。即使在需要切换至手动控制时，系统仍能持续追踪探针位置，确保工作流程无缝衔接。

结合VueTrack™软件，测试流程可简化为单一指令操作。系统自动处理温度转换、恒温时间、探针对准及就绪状态检查这不仅降低了工程师的操作难度，还减少了培训需求，为需要快速培训新员工的实验室管理者直接节省了成本。

这款 Autonomous High-Power Measurement Assistant 不仅是生产力工具，更是战略优势的体现。工程师可确信测量数据的准确性与可重复性，管理者则能见证吞吐效率的提升、人力成本的降低以及设备损伤风险的控制。加之支持全球远程工作站管理，该解决方案为各层级创造价值的优势不言而喻。

Autonomous High-Power Measurement Assistant现已适用于TESLA200与TESLA300探针台。