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随着 5G(以及即将到来的 6G)器件不断冲击速度、带宽和集成度的极限,对功率放大器(PA)和射频集成电路(RFIC)的测试和调谐变得前所未有地困难,也前所未有地关键。工程师在毫米波频段迫切需要干净、准确、可重复的数据。问题在于:传统的晶圆级 load-pull(负载牵引)测试架构会带来过大的信号损耗、复杂度和相位畸变。
这正是 FormFactor 与 Maury Microwave 合作推出更智能、更一体化解决方案的原因——它专为在毫米波领域面对严苛挑战的射频工程师而设计。
下面让我们拆解一下这个联合平台是如何工作的,以及它为何重要。
为什么在晶圆级进行负载牵引测试?
如果你正在为5G NR FR2设计功率放大器(或为6G做准备),负载牵引测试是至关重要的。你需要在实际的阻抗条件下表征大信号行为、增益、输出功率和效率。但在28 GHz到330 GHz的频率范围内,微小的不匹配或电缆损耗可能会影响数据的准确性。
这就是我们联合解决方案的亮点所在。通过直接探针架构,我们消除了器件与调谐器之间的电缆和探针支架,减少了插入损耗,并在极高频率下保持了信号完整性。
以下是三个关键特性:
1)直接探针 Nano™ 调谐器
Maury Microwave 的 Nano™ 系列调谐器设计注重速度、精度和最小占地面积。它们具备以下特点:
覆盖 8 GHz 至 330 GHz 的频率范围
直接安装到 FormFactor 探针臂上(无需额外夹具)
包括可选的低损耗耦合器和低配置连接器
去除典型的射频电缆,减少误差并最大化调谐范围
这样可以获得更干净的信号、更好的可重复性和更快速的设置。
2)经过验证的低损耗探针
负载牵引系统与 FormFactor 可靠的射频探针系列完美配对,包括
Infinity™ 和 InfinityXT™
ACP和|Z| Probe®
T-Wave™
这些探针在 40 GHz 下的插入损耗小于 0.8 dB,并在整个调谐周期中保持稳定的探针与焊盘接触——因此,您可以进行长时间的测试,而不会失去准确性。



3)可靠的低温测试,配备 IceShield™
温度变化会影响您的信号,尤其是在低温或零下温度下进行射频测试时。我们的 IceShield™ platen insert创建了一个无霜的“气墙”,可以将器件保持在低至 -60 °C 的低温下,无需庞大的外壳或长电缆。
更少的硬件,更少的信号损耗,数据更可靠。
灵活的工作站集成
该系统适用于多种 FormFactor 探针台,包括:
EVOLVITY™ 300 和 CM300xi,用于半自动化射频测试


SUMMIT200、MPS150、PM8 和 Summit 11000,用于研发实验室和表征工作台


无论您是在生产中进行测试,还是在早期设计阶段,都有适合您工作流程的配置。
这不仅仅是一个更简洁的工作台设置。通过消除调谐器和器件之间不必要的硬件,工程师可以:
更快地进行阻抗扫描
在毫米波频率下实现更高的精度
减少设置和校准时间
缩短设计周期并提高良率
总的来说:您将获得更好的射频数据、更快的测试速度,同时减少测试设置调试的时间。
关于我们
和创联合科技( 简称: 和创联合 )是一家注册于中关村高新技术产业实验区的高新技术企业,是全球最大的测试测量公司-是德科技Keysight Technologies以及全球最佳先进探针卡供应商/最佳工程探针系统供应商/十佳芯片制造设备供应商FormFactor的授权战略方案合作伙伴。我们不仅具备自营进出口权,获得了多项软件著作权和实用新型专利等知识产权,并顺利通过了ISO9001的质量管理体系认证更在测试测量行业积累了丰富的产品设备整合、系统方案开发、工程项目联调的经验。我们的员工半数以上都是技术人员,在半导体(晶圆级/封装 ) 测试、信号完整性、材料测试领域积累了丰富的经验并研发出多款方案和产品,帮助客户更好地面对测试测量挑战。作为“敏捷系统集成”的提供者,我们基于技术服务产生价值的理念,不断推陈出新,致力于为客户持续提供优质的服务。
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