在半导体制程中，Shower Head（淋喷头）是等离子体蚀刻机（Plasma Etcher）或化学气相沉积机（CVD）中常见的重要元件之一，其名称来自于它的外型与功能类似浴室的淋浴头。
ATOM微钻在Shower Head（铝合金材质）加工效果
虽然外观看起来酷似淋浴花洒，但Shower Head的价格却高达十万以上。其高昂成本的根本原因，正是源自于极为严苛的加工要求──表面分布着数以千计的微孔，不仅对孔径精度与一致性提出极高标准，同时对孔内壁的光洁度和无瑕疵程度也有近乎苛刻的要求。
Shower Head，蕴藏商机却对制程要求严苛
根据Techcet预测，2023年全球半导体用Shower Head市场规模约为25亿美元，预计到2028年将增长至35亿美元，复合年增长率(CAGR)达6.9%，这主要得益于先进制程晶片（如3nm及以下）对薄膜沉积制程要求的提高，以及3D NAND记忆体层数增加对高品质薄膜的需求。
在Shower Head中使用最广泛的金属材质是铝合金，因为具有良好的导热性能，同时具有强大的抗腐蚀性。非金属Shower Head的材质包括碳化硅（CVD-SIC）、单晶硅、石英玻璃和高纯度陶瓷等。
铝合金材质Shower Head
在晶圆反应过程中，气体扩散板表面密布微孔（孔径0.2-6 mm），特种制程气体需经过精密设计的孔道结构及气体路径，再经过气体扩散板上成千上万个小孔后均匀沉积在晶圆表面，晶圆不同区域的膜层需确保高度均匀性和一致性。
ATOM微钻Shower Head加工效果（正、反面）
因此，气体扩散板除了对洁净度、耐腐蚀性有极高要求外，对气体扩散板上的小孔孔径一致性、小孔内壁毛刺也有严苛要求，如孔径尺寸公差和一致性标准差过大或任一内壁存在毛刺，则会导致沉积膜层厚度不一，进而直接影响设备制造良率。
微小径钻头专家ATOM，以极致精密挑战微孔加工难题
如何实现Shower Head这一高阶半导体细分领域关键元件的极致微孔加工需求？
微小径钻头专家—日本ATOM，专为Shower Head（铝合金材质）等极致微孔加工挑战推出两大高性能系列产品，助力半导体相关领域高效突破微孔加工挑战！
1、定点引导钻NC：精准定位，从「孔」开始
（1）加工范围Ø0.02mm~Ø3.0mm，满足各种微小孔定位需求。
（2）提供120°和90°两种钻尖角，兼顾精准定位与倒角加工。
（3）搭配3.0mm和3.175mm的刀柄。
（4）适用于钢材、PEEK工程塑胶、非铁金属及树脂等材质。
（5）全日制一体成型全钨钢材质，采用TiAlN涂层，HRA硬度约为90，耐磨稳定。
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（2）低摩擦系数的超薄涂层，有效防止切屑黏附，降低切削阻力，提升排屑效果。
（3）最小径Ø0.1至Ø1.0，每隔Ø0.01mm一个标准规格。
（4）适用于铝合金、铜等非铁金属材质。
ATOM也可客制化中心出水钻头，您只需告知孔径、深度及加工工件材质等资讯，我们将为您提供最适合的解决方案！应用于Shower Head加工时，ATOM微钻能大幅提升排屑效率，同时显著改善孔壁粗糙度，达到更光滑的加工表面。
经过反覆验证，ATOM两大系列凭借卓越的耐磨性能和超长刀具寿命，即使在大批量微孔加工中，也能保持极低的刀具磨损，确保微孔孔径一致性高，加工表面光洁度优异，充分满足铝合金材质Shower Head对极致加工品质的严苛要求。
东莞瑞霆、上海阜霆、台北岳崴：以世界顶尖技术，协助精密孔加工再升级
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东莞瑞霆、上海阜霆拥有丰富的现货库存，可支援ADR标准钻头系列以及ADR-SV标准涂层钻头系列Ø0.02mm~ Ø1.0mm（每隔Ø0.01mm一个标准）的现货供应。
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东莞瑞霆、上海阜霆拥有20多年微细孔加工技术服务经验，不仅为客户提供专业的需求分析和应用建议，更可依托强大的供应链优势帮助客户实现标准钻头一周内现货交付。
东莞瑞霆、上海阜霆、台北岳崴携手日本ATOM以极致微钻技术，共同为半导体产业提供更稳定、更有效率的微孔加工解决方案，透过持续深耕微小径刀具技术，协助更多先进制造场景实现从「可加工」到「优加工」的跨越。