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2025-10-20

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近日，依托哈尔滨工业大学深厚技术成果而诞生的高科技企业——深圳领聚科技有限公司（以下简称：领聚科技）已完成过千万元天使轮融资，投资方为中关村发展集团旗下启航投资管理的北科中发展启航基金、中发芯创基金。

此次融资将主要用于超精密激光干涉仪、纳米级运动模组、超精密光阑系统等核心产品的研发与产业化，以及深圳总部工程与交付能力的搭建。这些产品正是高端半导体制造、计量检测等领域的核心测控部件，长期被国外厂商垄断。

超精密激光干涉仪（图源/企业）

据悉，领聚科技成立于 2024 年 12 月，是哈尔滨工业大学积极响应国家推动高端装备国产化、加速科技成果转化的关键一步。公司核心团队源自哈工大精密仪器工程研究院，在超精密激光干涉测量技术以及纳米级运动控制技术领域有超过二十年技术积淀，自主研发的高速激光干涉仪、皮米级激光干涉仪、微探头激光干涉仪、纳米级运动模组等核心产品，广泛应用于半导体制造、超精密加工、光学装调、微电子测量、科研仪器等领域，已成功交付数十家国内高端装备头部企业、国内外顶级计量机构等。

自2010年起，围绕国家科技重大专项等核心任务，哈工业大学科研团队在高速超精密运动台、超精密激光干涉仪等关键技术上取得了重大突破，形成了全面且系统化的技术储备。校方对该技术成果的产业化前景高度重视，全程积极推动并最终通过资产公司直接入股成立了深圳领聚科技，旨在将实验室里的顶尖科研成果，转化为可交付、可规模化的工业级产品。

目前，领聚科技已形成四款激光干涉仪产品，覆盖高测速、小型化与真空超高精度测量等应用场景，分辨力可达0.04 nm，并可支持2.7 m/s以上测量速度，经权威计量机构比对测试，核心指标比肩国际顶尖竞品，可匹配当前顶级半导体制造装备与计量测试装备的关键测量要求，同时其核心部件均为自研，不仅可打破国外高端激光干涉仪对我国的禁运，实现高度自主化国产替代，且可以依托本土团队来快速响应定制化技术需求。

此外，基于哈工大标志性的双工件台技术，领聚科技开发出模块化、可定制的纳米级运动模组，相关定制化高端运动平台已进入样机验证阶段。

截至目前，领聚科技已交付超150台套系统与部件，客户覆盖高端半导体装备为代表的精密设备研发集成、计量检定领域。公司在哈尔滨具备小批量试产能力，深圳总部正加速组建本地研发与工程团队，预计可在短期内快速实现全流程标准化设计与柔性化交付体系的建立，配合客户挑战关键高端半导体装备国产化。

超精密测量与控制系统产品及解决方案必须满足高效定制、长期稳定且高度可靠，这不仅是技术挑战，更是一个完整工程体系的考验。公司相关负责人表示，下一步将重点落地深圳本地化产测体系，并携手客户推进平台化版本产品的验证与应用，助力国产高端测控部件在更多装备领域实现突破。