SECS/GEM是作为设备和MES之间的桥梁。

MES系统的作用:
实现自动化,从而降低人工成本
自动化生产提高效率
自动计算设备运行耗材及维护保养
控制系统验证,控制设备生产,避免操作人员失误
实时监控设备运行状态
管理设备,自动调度设备运行,实现质量提升
SECS(SEMI Equipment Communication Standard)/GEM(Generic Equipment Model)是半导体设备与晶圆厂主机之间进行通信的通信接口协议。
Fab 主机是一个软件应用程序,它使用 SECS/GEM 协议控制和监视设施处理。
符合 SECS/GEM 标准的设备可以使用 TCP/IP(使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 – HSMS)或 RS-232(使用 SEMI 标准 E4 – SECS-I)与工厂主机通信。
SECS/GEM标准是如何实施的
1. 沟通
通信定义了设备关于是否存在与主机的通信链路的行为。它还指定了当 S1F13/S1F14 被切断时如何建立或恢复与 S1F13/S1F14 的通信。使用我们的 SECS/GEM 软件,主机可以有一个简单的通信过程。
2.控制
SECS/GEM协议中的CONTROL状态模型规定了主机和设备之间的合作程度。控制范式为宿主提供三个基本级别的宿主控制,以建立宿主控制设备的能力:
离线(最低级别):在操作员控制台工作的操作员手动操作整个设备。设备将使用 SxF0 回复来自主机的任何直接消息,而不是 S1F13 或 S1F17;设备将回复 SxF0。
Local/Online(中级):主机在此状态下只允许进行“只读”操作,例如数据采集。主机不能更改影响进程的设备常量、导致运动的远程命令或启动处理的命令。
Online/Remote:最高级别的操作是Online/Remote,在这种情况下主机可以使用通信接口尽可能自由地使用设备。
金南瓜率先响应国家号召推出纯国产化的SECS/GEM解决方案,防止国产设备被掐脖子以及机密泄漏。
以前我们接触到的SECS/GEM都是外国的,或者国内公司代理包装的美日韩产品,金南瓜为为中华民族的伟大复兴而努力奋斗,也为中国半导体事业走向领先的道路添砖加瓦。
金南瓜开发团队从事半导体行业十余年, 曾在国内某大公司研发出国内唯一能与disco 7161竞争的 laser grooving设备。我们到德国接受过系统的培训,学习优秀的设备设计思想。


