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转自：混知
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（一）多曝工艺究竟是如何超过光刻机的极限分辨率？
（二）为什么28nm光刻机哪怕上多曝也做不到7nm？
（三）为什么28nm光刻机上多曝也无法做到7nm？
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国产芯片为啥难开发？7nm 芯片又是啥？
是说芯语2023-09-14
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