特邀报告 | 四川大学电子信息学院杨阳院长：微波等离子体技术及其在半导体制造业中的应用

IME微波会

2024-03-13

导读：限时免费参会注册！与千位行业精英共聚第6届西部微波会（3月28-29日成都）！

IME第6届西部微波会即将于3月28-29日在成都与业界再度相聚！

作为聚焦成都、服务西部地区微波及天线行业专业化展示交流平台，IME第6届西部微波会将吸引100余家领先企业，20多场技术会议同期火热开讲，探讨5G/6G通信、雷达、电子对抗、航空航天、卫星通信、导航、人工智能、物联网等领域的电磁场与微波、毫米波、太赫兹、天线、测试测量、集成电路、芯片设计、无线能量传输、封测与材料等热门话题，是不容错过的技术盛宴！

IME2024西部微波会

特邀报告

演讲主题

微波等离子体技术及其在半导体制造业中的应用

演讲嘉宾

杨阳教授/博士生导师

四川大学电子信息学院院长

时间/地点

2024年3月28日 13:30 - 14:10

成都永利庆典中心

会议概要

相较于传统等离子体，微波等离子体具有高效性、可控性及清洁性等优势，在半导体制程中具有广泛的应用前景，如半导体材料的表面改性、清洗、刻蚀以及化学气相沉积等。由于微波等离子体的作用过程包含电磁传播、粒子漂移扩散、气体流动和温度变化等复杂的物理化学过程，目前还缺乏有效的微波等离子体三维多物理场仿真方法，导致设备的设计与优化困难；此外微波等离子体设备处理过程中工艺参数不清也会导致处理均匀性差、效率低等问题。本报告主要围绕微波等离子体在半导体制造中的应用，对国内外的研究进展与现状及四川大学针对上述问题开展的工作进行了讲述。

嘉宾介绍

杨阳教授，博导，四川大学电子信息学院院长。2005年在四川大学获得学士学位，2008年至2010年美国Clemson大学联合培养博士生，美国橡树岭国家实验室（Oak Ridge National Lab）访问学者。曾获得四川省技术发明一等奖1项，省级科技进步二等奖3项；主持国家级科研项目6项，省部级科研项目5项；发表高水平科研论文40余篇；以第一发明人获美国发明专利3项，中国发明专利10余项，其中4项已实现成果转化。近年来主要从事微波化学、大功率微波源以及微波等离子体方面的科研工作。

第六届西部微波会把握西部电子信息产业东风，以前瞻性和创新性为亮点，汇聚是德、思仪科技、安立、玖锦、海得逻捷、鼎阳、能讯、诺思、宏科、极致汇仪、瑞贝斯、倍测通、玖信、创远、四威、芯谷、华湘、坤恒顺维、莱尔、元陆鸿远、诺信博、星起源、安其威、中科天衡、德力、旺灵、中航天成、海天、益丰、优利德、通量等百家业内领先厂商，向1500位专业用户推广创新技术/产品，邀您一同开拓2024行业新蓝海、新商机！

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