表面疵病检测仪,又称为表面缺陷检测仪(Surface Inspector),是对光滑的表面缺陷量化分析的仪器,广泛应用于光学、精密加工、屏幕制造等领域。
表面疵病检测仪通过在待检表面上用特定的光源照射,将待检测表面缺陷的特征放大,并通过高分辨率相机进行拍摄。拍摄后的图样通过自制图像处理软件进行缺陷识别和缺陷量化判断,从而获得待检表面缺陷的单个信息,并根据美军标、ISO标准或者厂家自定义标准进行级别判断。
图1表面疵病检测仪
针对目前的市场需求,选购表面疵病检测仪时应考虑以下几点因素:
样品尺寸
为了节省检测空间和缩小设备的体积,我们对设备的大小进行了控制。在对于不同尺寸的样品时,可以选用合适的设备,以免造成设备空间的浪费。
我们的设备可以测量的尺寸范围如下:
① 不拼接 < 6 mm * 6 mm
拼接 < 50.8 mm * 50.8 mm
② 不拼接 < 12 mm * 12 mm
拼接 < 50.8 mm * 50.8 mm
③ 不拼接 < 25.4 mm * 25.4 mm
拼接 < 300 * 300 mm
采购建议:
自动化版本的设备可以进行图像拼接,但是图像拼接会影响生产效率,因此我们主张采购设备时考虑不拼接的尺寸范围与待检产品尺寸的适配性。
自动化与非自动化
目前一些厂家购买表面疵病检测仪的目的是为了和他们的客户进行对标使用,而不是为了满足自己的生产检验需求,因此我们也开发了手动版本的表面疵病检测仪(如型号MOF100),主要是为了满足在产品光洁度与客户产生分歧后使用该设备进行级别判定,消除客户的疑虑。
我们的主打设备是自动化设备,可适用于量产产品的检测。自动化设备是通过在XYZ三轴增加位移平台来实现样品位置移动、镜头自动对焦等功能的。在点击自动测量之前,需要对样品托盘进行地图绘制,绘制完地图后,设备便可以根据地图运动到相应的位置对样品进行逐一的检测并生成每一个样品的检测报告了。
采购建议:
主张采购设备时,需要根据贵司的实际需求来选择手动版、自动化常规版还是自动化定制版本的设备。

图2 从左→右:自动版、手动版、自动版
表面类型及样品形状
光学和精密加工厂商的产品表面类型和形状种类非常多,比如:表面类型有平面、球面和非球面,样品形状又可分为圆形、长方形、平行四边形、异形等。
对于不同的表面类型,因为镜头存在景深的原因会导致样品表面的一些区域无法高清拍摄。比如球面,当相机聚焦球面最顶点的时候,球面的下边缘的拍摄图像会变得很不清楚。因此需要移动镜头进行上下扫描拍摄,然后将拍摄的图样剪切后再拼接成一幅整体的图像,随后进行图像处理与级别判定。
对于不同的形状种类,我们开发了不同的算法对形状进行判断和处理,以提高算法运行的效率。对于一些异形件,我们需要对该异形件进行定制化算法设计,以满足算法和图像处理的需求。另外因为样品形状不同,因此样品托盘也需要进行定制或修改。
采购建议:
我们主张采购设备时,需要根据贵司的实际样品进行设备的选择。

图5 样品照片
检测精度和检测效率
厂家各产品的检测精度需求和检测效率都是不同的。如果检测精度越高,那么相机的分辨率将越高,图像处理的速度会变慢,导致检测效率降低。
因此我们需要根据客户的检测精度需求来选择不同的相机和镜头,来获得最高的检测效率。
采购建议:
我们主张采购设备时,请顾客提供需求精度和检测效率。
图6 报告
标准的选择
检测标准是表面疵病检测仪的灵魂,这关系到表面疵病的判断和定级。目前我司设备采用的是美军标MIL-PRF-13830B和ISO 10110-7 / ISO 14997两个标准。为了满足更多用户的需求,我们增加了厂家自定义标准。不过这就需要客户提前告知我们他们的参考标准,这样方便我们将标准写入程序之中。
采购建议:
在采购设备时,需要采购商提供样品检测的标准。
科学技术的发展对光学零件表面的质量要求越来越高,成本的降低和对精度的要求导致高效化和自动化需求度变高,因此选用全自动表面疵病检测仪将变得越来越重要。
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