新品发布
2022年8月4日，炬光科技全新发布Flux H系列可变光斑激光系统。该系统输出光斑长度和宽度在2 mm到200 mm范围内分段连续可调，光斑均匀度＞95%，具备闭环温控功能，适用于泛半导体制程解决方案。
炬光科技 Flux H 系列可变光斑激光系统
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随着激光技术的飞速发展，激光应用领域在广度和深度上不断拓展，各行业对于加工效率以及加工精度也不断提出更高要求，进而对高均匀度以及不同尺寸光斑的需求不断增多。激光光斑从传统的“点”已经逐渐发展为加工效率更高的“线”和“面”。目前高均匀度（>95%），且长宽灵活可变的“线”、“面”光斑已被广泛应用在面板显示、集成电路、锂电池制造、玻璃和光伏等泛半导体制程解决方案。
线光斑、面光斑加工方式示意
产品特点及应用
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基于4000 W功率976 nm波长的半导体光源
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实现输出光斑长宽方向2~200 mm分段连续可调
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光斑能量均匀度＞95%
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红外温度监控和闭环温度控制功能
材料非接触加热
激光辅助键合
激光巨量焊接
激光干燥
材料表面处理
产品性能参数
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不同工作距离下的光斑尺寸变化范围
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