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入围风采 | 高分辨、高性能、低成本红外成像芯片变革性新方向:中芯热成新型胶体量子点红外成像芯片

入围风采 | 高分辨、高性能、低成本红外成像芯片变革性新方向:中芯热成新型胶体量子点红外成像芯片 光电汇OESHOW
2024-04-24
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导读:突破外延生长成本、倒装键合技术、单片制备工艺的限制

入围展示

【成果技术】
新型胶体量子点红外成像芯片
【参评单位】

中芯热成科技(北京)有限责任公司

2024年3月,光电汇主办的“2023年度中国十大光学产业技术”入围名单公布。此次评选历时3个月,申报技术达101项,47项经过初筛后进入专家评审和网络投票环节,经过层层筛选,中芯热成的“新型胶体量子点红外成像芯片”成功入围

图1 型胶体量子点红外成像芯片

背景

随着自动驾驶、工业检测、疫情防控、遥感等前沿应用的发展,红外成像成为了具有广泛需求的新型成像技术。为实现对场景信息的准确、全面获取,低成本、小像元、大面阵、多色红外芯片,成为了当下研究热点及应用急需。然而,传统块体红外半导体材料由于存在晶格位错、缺陷等问题,不同带隙材料耦合困难,导致大面阵、高均匀性材料难以获取。同时,所制备红外器件需要经过倒装键合等多项复杂工艺才能实现与硅基读出电路的信号耦合,提高制备成本的同时,也限制了像元尺寸及面阵规模的发展,直接制约了低成本、民用领域红外芯片的大规模使用。针对以上挑战,中芯热成创新提出了一种基于新型胶体量子点材料的大阵列多色红外焦平面制备方法。核心量子点材料通过液相加工液相合成,并且具备与硅基直接耦合等特点,具备带隙可调、宽谱响应等光学优势,为下一代低成本、高分辨、多色红外芯片制备提供了全新的思路。

优势

1.突破外延生长成本限制,实现液相大规模材料制备:一次热注法合成“红外光电墨水”,以液相工艺取代复杂的真空材料生长,生长时间及成本减少至1~5%;

2.突破倒装键合技术限制,实现硅基电路片上直接集成:自动化液相电路互联工艺,实现红外材料与硅基电路信号片上直接互联,突破倒装键合对阵列规模的限制,可实现超大面阵规模的探测器制备;

3.突破单片制备工艺限制,实现晶圆级探测器批量耦合:一次液相加工实现8英寸晶圆级焦平面探测器耦合及封装,单次加工可完成200-2000个成像芯片制备。

应用

1.硅基材料检测

在硅片检测领域,短波红外探测器具有大量应用需求,其主要原因为半导体硅基材料具有吸收可见光而透过短波红外光的特性。因此人眼及可见光芯片无法对材料内部缺陷进行检测。通过短波红外红外相机,则可对硅基材料的内部缺陷进行检测。


图2 半导体芯片的可见光成像(左)及短波红外成像(右)


图3 太阳能光伏面板EL的可见光成像(左)及短波红外成像(右)

2.纺织品材质分类

在短波红外光下,不同纤维材质吸收特性不同,形成灰度不一致的图像,可以用来区分内部杂质或对纺织品材料进行分类。在消费品领域如熨烫机、洗衣机等产品的智能化方面具有重要作用。除此之外,在工业分选场景如棉花异纤检测也发挥了重要作用。


图4 不同衣物材质的可见光成像(左)及短波红外成像(右)

3.果蔬分选

随着人们对生活品质的要求越来越高,消费者对于果蔬品质的认知及要求也在明显提升。因为水分对于短波波段具有强烈的吸收特性,因此短波红外在未来对于果蔬的筛选可以提供很大的助力。


图5 受损伤苹果的可见光成像(左)及短波红外成像(右)

4.化工品分选

不同材质物品如有机溶剂、食品及塑料等在短波红外波段具有不同的吸收,通过对图像灰度值进行分析,可以实现无损、快速材质分类。

图6 化学溶剂的可见光成像(左)及短波红外成像(右)


图7 食及白砂糖的可见光成像(左)及短波红外成像(右),左侧为食盐,右侧为白砂糖

5.穿云透雾

短波成像受大气散射作用小,透雾、霭、烟尘能力较强,有效探测距离远,对气候条件和战场环境的适应性优于可见光成像;可显示建筑、飞机、舰船上的字母及涂料,也可消除某些类型的伪装。

图8 雾霾天气短波红外成像(左)及可见光成像(右)

未来,中芯热成将继续聚焦于胶体量子点红外成像芯片技术,不断提升产品性能,突破传统焦平面成本高、工艺复杂、波段单一及阵列规模小等瓶颈问题,利用更低成本的新型红外量子点材料助力半导体晶圆制备、自动驾驶、红外无损探伤等领域,填补国内在红外胶体量子点技术领域空白。

中芯热成科技(北京)有限责任公司

中芯热成科技(北京)有限责任公司是国内首家以胶体量子点材料为核心的国家级高新技术企业。公司核心研发团队专注于新型红外量子材料器件制备及封装技术,围绕低维量子材料,构建下一代低成本、高分辨率、短波及中波红外成像芯片解决方案。

2023年度中国十大光学产业技术

“2023年度中国十大光学产业技术”评选活动由上海意桐光电科技有限公司旗下媒体平台光电汇发起组织,联合武汉光博会举办。本届活动共收到101个申报项目,经过专家评审和网络投票,最终30个项目入围。最终获奖名单将在5月18日的“2023年度中国十大光学产业技术”颁奖典礼暨产业创新大会上公布。

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