很多人不知道，中国其实是世界上最早开始生产光刻机的国家之一。
六十年代中期，中国科学院就已经研制出了65型接触式光刻机。七十年代，武汉无线电元件三厂还编写了《光刻掩模版的制造》一书，系统总结了工艺方法。那时的中国，在光刻机技术上与日本几乎同步，比韩国和台湾整整早了十年。至于今天被捧上神坛的ASML，当时不过还是个小字辈，连影子都没有。
那个时代的科学家们，凭借着那股子自力更生的劲头，在最艰难的条件下，把光刻机、芯片离子注入机、精密压力机等一批高精尖设备硬生生做了出来。宝鸡的4503厂、商州的877厂，就是那股子火红年代的产物。
4503厂，原第四机械工业部在大三线建设中筹建的重点单位，人员来自南京、无锡、上海等地的老牌军工厂。这个厂在七十年代中期就研制出了第一代半导体集成电路专用设备样机——光刻机。它不是摆设，而是真刀真枪地被各大科研单位使用，得到了高度评价。此后又相继推出第二代、第三代，把与国际的差距一步步缩小。甚至有些领域，还一度走在前面。
与此同时，877厂国营卫光电工厂也在拼命攻关。1968年12月在陕西商州动工建设，主要技术人员来自北京、上海、沈阳等地。这个厂生产过逻辑电路集成芯片，陶瓷封装，用于我国卫星控制系统。如今还能见到标注着“1975年5月”的芯片，那是真正的历史见证。
可惜，现存的光刻机机头残破不全，镜头、控制系统全无，只能从废铁堆里捡出残骸。它本该是中国半导体史上最闪耀的珍宝，如今却只能以断壁残垣的面貌提醒我们，曾经有过这样一条辉煌的道路。
【这是877厂、国营卫光电工厂用国产光刻机生产的逻辑电路集成芯片，陶瓷封装，曾用于我国卫星控制系统，有芯片注明日期是1975年5月】
二十世纪八十年代初，随着政策的转向，一批国之重器项目被集体砍掉。运10飞机、直8直升机、远程轰炸机、大型导弹驱逐舰、长城和曙光计算机、数字焊接系统，全都下马。光刻机项目也在其中。理由很简单，所谓“造不如租，租不如买”。经费被掐断，科研人员流失，企业被迫转型，却又找不到市场。建光机器厂、卫光电工厂，曾经是国家的骄傲，最后却在困境中凋零。辉煌的科研积累，化为尘土。
更可悲的是，当时的科研已经到了突破的边缘。清华大学在1980年研制出的第四代分步投影式光刻机，分辨率达到3微米，已经接近国际主流水平。武汉无线电元件三厂在光刻工艺上也有二十多年的积累。那是一个量变到质变的关键时刻，只要再坚持几年，中国完全可能进入世界第一梯队。可就在最关键的关头，项目被一刀切掉，几十年的努力白费。
科学不是孤立的，技术更不是天上掉下来的。背后必须有国家战略的支撑，有顶层路线的指引。
有人说，如果光刻机没有在1978年后下马，中国今天就不会受制于人。这句话刺痛人心，但它是真实的。
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