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光电研发部聚焦于我国集成电路产业以及智能制造产业发展的需求,主要从事集成电路制造装备以及新型光电装备相关技术的研究工作,包括集成电路制造在线测量/在线检测技术研究、智能制造精密测量与缺陷检测技术研究、集成化光电感知系统研究等。
光电研发部承担了国家科技重大专项、国家科技部重点研制计划、国家自然科学基金和地方企业合作等一系列科研项目和任务。在专注于集成电路制造装备以及新型光电装备相关系统技术和关键技术研发的同时,与产业领域开展了广泛的合作,实现产学研的有机结合。
光电研发部设有中国科学院大学光电学院光学工程专业硕士和博士培养点。
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