1、快：
● 成像质量:使用最先进的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描；
● 量测集成包：大族激光是第一家使用量测集成包的公司，能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案；
2、准：
● 光学系统:使用自主先进的大视野显微镜，配有高级照明系统和即时聚焦技术；
● 缺陷查找：使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异；
● 直线高精电机，XYZ平台, 100纳米分辨率；
● 机械结构200纳米精度；
3、稳：
● 洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)；
● 浮式基座平台减小设备震动影响。
● 操作界面简单易用，缩短检测程序Recipe的编制时间；
● 采用独特的放大倍率镜头直线切换方式，可适应不同精度的检测和复查需求；
● 自主研发的光学系统设计和精密运动控制实现晶圆的高速、高分辨率扫描；
● 自主研发的深度学习、AI智能检测和分类算法具有行业领先地位；
● 采用超高速白光三角法3D扫描和专用优化算法；
● 具备online/offline review两种缺陷复查功能；
● 可实现高速自动对焦，能满足不同翘曲度的晶圆；
● 可兼容8寸&12寸bare wafer和frame wafer。
设备性能
主要参数
本文转载自“大族激光显视与半导体装备事业部”公众号
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