大数跨境
0
0

中国电科成功实现大尺寸碳化硅单晶片激光剥离 | OE NEWS

中国电科成功实现大尺寸碳化硅单晶片激光剥离 | OE NEWS 光电汇OESHOW
2022-08-17
0
导读:4英寸、6英寸

近日,中国电科2所激光剥离项目取得突破性进展,基于工艺与装备的协同研发,实现了4英寸、6英寸碳化硅单晶片的激光剥离。

2所激光剥离设备有机结合激光精密加工和晶体可控剥离,实现半导体晶体高可靠切片工艺,可将晶体切割损耗降低60%以上,加工时间减少50%以上,并实现晶体加工整线的高度自动化。
下一步,2所激光剥离项目将以“大尺寸化、快速生产化、高良率化、全自动化、低能耗化”为目标,迅速开展由碳化硅晶锭至合格衬底片的自动化设备贯线,为解决第三代半导体关键技术问题贡献力量。
本文转载自公众号 中国电科
征稿启事
Contributions

本公众号长期征稿

欢迎大家踊跃来稿

为了尽可能协助科研人员和企业扩大自我宣传,本微信号接受科研和产业界人士投稿,技术类、市场类、企业类、产品类等皆可。经筛选后,根据稿件质量可发布于本微信公众号头条及次条位置宣传。若被采用为头条的技术类、市场分析类稿件,视阅读量可给予稿费。

投稿通道:邮件标题统一命名为“投稿+文章标题”的格式文章用word附件或者文章链接,发送至邮箱sueuel@oeshow.net;或者电话/微信联系13296607101,备注“投稿”即可。



END

特色栏目



免责

声明

本文注明来源为其他媒体或网站的文/图等稿件均为转载,如涉及版权等问题,请作者在20个工作日之内联系我们,我们将协调给予处理。最终解释权归光电汇所有。

本文版权所有,公众号如需转载

请联系oepn@siom.ac.cn

商务合作,请联系

季先生 18018304797

觉得有用,请点这里↓↓

【声明】内容源于网络
0
0
光电汇OESHOW
国内知名的光子产业媒体平台,信息创造价值
内容 5691
粉丝 0
光电汇OESHOW 国内知名的光子产业媒体平台,信息创造价值
总阅读1.1k
粉丝0
内容5.7k