TCB 的全名是:
Thermo-Compression Bonding(热压键合),它是一种在 加热 + 加压力 + 精密对准 的条件下,把晶圆或芯片与基板用 金属互连(通常是 SnAg 焊料或 Cu) 连接起来的先进封装技术。
它是 取代传统回流焊(Reflow) 的关键工艺。
为什么TCB工艺不需要做回流焊?
这要归功于TCB的局部回流(local reflow)。
传统回流焊是 整片晶圆/基板全部加热到 230–260℃:大面积受热,本质:整片一起烤。
TCB 本身就“自带回流功能”,它的局部加热 + 加压力 = 已完成焊接,不需要再进回流炉。
换句话说:
TCB 在 bonding 时会:
把焊料加热到接近/超过熔点(局部 reflow)
同时施加的压力
焊料在压强下润湿、扩散、形成 IMC
温度下降 → 键合完成
全部一次性在TCB机台里完成。
这和回流焊的机理是 完全等价的。
只是 TCB:
热更集中;形貌更受控;对齐更精准
TCB与传统倒装工艺的对比?
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传统倒装 Flip Chip(Reflow) | TCB(Thermo-Compression Bonding) |
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全片加热(Global Reflow) | 局部加热(Local Reflow) |
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