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| KrF 激光器 |
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| ArF 激光器 |
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| F₂ 激光器
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准分子激光器的核心在于“Excimer”，比如：
Ar + F₂ → ArF*
Kr + F₂ → KrF*
这些“准分子”在放电激发下形成短暂的束缚态（寿命约几纳秒），返回基态时释放出特定波长的紫外光：
ArF* → 193 nm
KrF* → 248 nm
因此，必须同时存在：
惰性气体（Ar、Kr）→ 提供能级；
卤素气体（F₂）→ 形成激光活性分子；
缓冲气体（He 或 Ne）→ 稳定放电、传热与延长气体寿命。
2，控制放电均匀性与激光能量
不同气体的比例直接决定：
放电电场强度；
激光输出功率；
光束均匀性与光斑尺寸。
例如：
ArF 激光器工作电场极高（约 1×10⁶ V/m），对气体浓度和压力极为敏感，必须精确调节。
目前我们有cmp，光刻，镀膜，键合，量检测的技术群，如需进群，请加Tom微，防失联,V：wafer58
