在对晶圆进行减薄前,将待处理的主晶圆通过一种可逆方式临时粘接在另一张“临时载板”(Carrier)上,形成一个更适合后续工艺的结构。
简单来说,就是“脆、薄的晶圆找个临时‘靠山’”,加工完之后再“分手”。
常见两种方式:
Spin-coating(旋涂)
涂在 device wafer 上,控制厚度:5–30 μm,烘烤让溶剂挥发,达到可键合状态
Laminate(贴膜)
温度+压力+真空下贴合
3:对准 + 临时键合到 Carrier
在 真空环境 下贴合:温度+压力+时间
4,背面减薄(Back grinding + CMP)
在 carrier 支撑下,背面粗磨 → 精磨 → CMP,把 wafer 磨到目标厚度:100 μm、50 μm、30 μm甚至更薄
5,解键合
将device wafer 与 carrier分离,一般的方法有:
激光解键合,UV解键合,高温解键合等,下期详细讲解
什么是carrier?
Carrier(临时载板 / 载体晶圆)就是在临时键合工艺里,用来“给超薄晶圆当骨架”的那片硬且厚的基片。
2,厚度与刚性:足够保证搬运、加工、对准的稳定性。
3,平整度/翘曲:TTV、Bow/Warp能够保证键合无空洞、对焦/对准/匀胶均匀性。
4,表面质量:Ra、洁净度、润湿性(疏/亲水)要满足
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