聚焦离子束（FIB）精品直播课

聚焦离子束（FIB）技术，已成为微纳制造与失效分析领域的“显微手术刀”。FIB在未来的半导体制造与先进封装中意义巨大,作为一名芯片从业者，FIB是必须要了解的十分重要的检测手段。

具体应用在：

本课程将为你系统讲解如何通过FIB等技术，实现从制样到结构剖析的全流程掌握，尤其面向先进封装、逻辑器件、微纳加工等应用领域。

主讲嘉宾介绍：

陆老师｜资深FIB工艺专家

拥有15年FIB制样与检测经验

曾任职于多家材料分析实验室

精通TSV、PR、FinFET等结构的FIB剖析与TEM制样

实战经验丰富，讲解深入浅出、案例详实

课程大纲（共6次课，3-4小时）：

1，FIB在微纳加工中的应用

2，TEM样品制备方法
      3，TEM制样保护层的选择
      4，FIB在TSV/TGV结构分析中的应用
      5，FIB在PR（光刻胶）表征中的技巧
      6，FIB剖析FinFET结构方法
    以第1课《FIB在微纳加工中的应用》为例（仅为第一课课表），详细课表为：

适合人群：

Fab厂工程师（TD/PE/PIE/Yield/FA）

先进封装/3D IC 工程师

TEM/FIB制样操作人员

芯片逆向分析、失效分析相关技术人员

材料、微电子等专业研究生/博士生

你将获得：

1，FIB与TEM协同制样全流程认知

2，多结构剖析方法与对比优势

3，真实案例讲解与关键操作技巧

4，提升芯片结构解析与缺陷定位能力

上课时间：

预计在下周六或下下周六，购课后会拉入学习群，便于交流，上课。

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