对于传统制造业来说，装备或机器是完成产线流程生产的基础与关键。而在今天，装备不仅要完成生产，更要实现机械、电气传动与控制、软件一体化。在高端薄膜沉积领域，一台好的设备，除了有智能装备作为载体，更以工艺开发为核心，通过专业软件系统实现精准控制，并依托严格的测试分析进行验证与迭代，这样的全流程专业服务才是推动科研与产业突破的关键。
合肥致真精密设备有限公司（下称：致真设备）在提供高性能磁控溅射设备的同时，更以测试分析服务、工艺菜单定制、软件系统开发三大板块，为客户打造 “设备+工艺”全栈式解决方案，全方位赋能薄膜研发与生产。
一
工艺菜单定制
Craft Menu Customization
针对不同应用场景的个性化需求、致真设备可根据客户需求定制开发专属的薄膜工艺菜单，覆盖自旋电子、超导量子、MEMS等前沿领域，为客户提供从“工艺开发”到“技术落地”的全流程支持。
无论是新型功能薄膜的研发，还是量产工艺的优化，致真设备都能精准助力，为客户量身打造可复现、高稳定性的定制化工艺方案，助力科研突破与产业升级。
二
软件系统定制：
Software System Customization
致真设备的软件系统采用模块化、可定制化架构，从界面到平台结构均可根据客户需求灵活调整，实现“设备操作-工艺管理-数据追溯”的高效协同。
从界面＆平台结构图可见，系统涵盖GUI(图形用户界面），Recipe（工艺配方）、Log（日志）、Account（账户管理）、Cfg(配置）等核心模块，通过CTC（中臂）、TM Robot（传输机械臂）、IO Service（输入输出服务）等组件的联动，可精准适配不同产线的自动化、智能化需求、大幅提升设备操作的便捷性与工艺管理的规范性。
三
测试分析服务
Test and Analysis Services
致真设备拥有完备的实验平台与测试分析平台，配备多台高端薄膜检测仪器，可针对晶圆薄膜材料开展全维度测试分析，为客户提供专业详尽的测试报告，精准把控薄膜性能。
核心测试能力 覆盖多维度性能
可检测薄膜表面三维形貌，微观结构，物相，晶体结构等关键性能；能分析材料的成分，内部原子/分子结构与形态，为工艺优化与材料研发提供数据支撑。
高端仪器矩阵 满足多元化需求
X射线衍射仪
可实现定性/定量分析、薄膜分析、高分辨外延薄膜分析、薄膜面内分析等，是晶体结构表征与物相分析鉴定的核心设备。
（X射线衍射仪）
激光扫描共聚焦显微镜
通过非接触式共聚焦成像，获取不同倍数下材料表面三维形貌，精准表征半导体、金属、聚合物、纳米材料的微观结构。
（激光扫描共聚焦显微镜）
激光拉曼光谱仪
通过分析散射光谱，获取分子振动、转动信息，是研究固体中声子和磁子激发的有力工具，在凝聚态物理领域应用广泛。
（激光拉曼光谱仪）
场发射扫描电子显微镜
可观察样品纳米级甚至亚纳米级形貌，在低电压下实现超高分辨率成像，同时支持样品元素与微观结构的同步分析。
（场发射扫描电子显微镜）
原子力显微镜
具备样品品相分离、形貌、力学测试等多功能，还可实现高分辨率表面形貌测试、高灵敏度电/磁信号测试、纳米尺度力学机械性能测试、满足学科交叉研究的“平台级”需求。
（原子力显微镜）
作为国产高端物理气象沉积设备厂商，致真设备不仅以高性能磁控溅射设备打破国外技术垄断，更以全。我们贯通从工艺定制到测试验证的全流程，实现设备、技术、服务的深度融合。本土化服务模式更能为客户提供高效快捷的响应支持，同时帮助客户免于商务与禁运风险，真正实现“国产设备+国产服务”的双重保障。
致真设备
合肥致真精密设备有限公司(Truth Equipment Co., LTD)成立于2021年5月，是一家专注于高精度物理气相沉积设备及其关键组件研发和制造的国家高新技术企业。公司研制了多款具有自主知识产权的国产高端科研级和产业级磁控溅射设备，同时为合作伙伴和客户提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等服务。技术驱动、方案营销，致真设备秉承“追求极致、务实求真、敢于创新、合作共赢”的致真精神，致力于提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，推进产学研深度融合，将先进的科研成果转化为具有竞争力的产品，努力解决集成电路行业卡脖子的关键设备和工艺难题。
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