大数跨境
0
0

“上交会50人”专家成员 | 伍强:光刻技术国产化的攻坚者与领航者

“上交会50人”专家成员 | 伍强:光刻技术国产化的攻坚者与领航者 瓴麟科技
2025-11-19
2
导读:上交会50人伍强集成电路复旦大学微电子学院研究员、博士生导师、国家集成电路创新中心首席科学家、先进光刻胶材料




上交会50人




伍强

集成电路

复旦大学微电子学院研究员、博士生导师、国家集成电路创新中心首席科学家、先进光刻胶材料教育部工程研究中心主任

上交会50人

在集成电路产业“卡脖子”技术攻坚的关键赛道上,光刻技术作为芯片制造的核心环节,直接决定着半导体产业的发展高度。

“上交会50人”第二批专家、复旦大学微电子学院研究员/博士生导师伍强博士,凭借二十余年跨产业界与学术界的深厚积淀,在集成电路工艺研发,特别是光刻工艺研发、国产化突破与产学研协同领域持续深耕,对推动我国集成电路产业自主可控起到了的重要作用。



▐ 技术攻坚:从核心工艺到国产化突破的领航者

伍强的技术生涯始终瞄准光刻领域最前沿的挑战。从美国耶鲁大学物理学博士毕业后,他于20001月入职美国IBM公司投身65nm逻辑光刻工艺研发,深入研究光刻关键参数等效光酸扩散长度的测量与建模方法等,为先进工艺研发成功奠定了关键技术基础。2004年回国后,他先后扎根上海华虹NEC、中芯国际等龙头企业,带领团队完成0.18μm7nm多代逻辑芯片光刻工艺的成功研发突破,更带领团队成功支持了首台193nm浸没式光刻机导入中国大陆的生产线,有力地推动了国内芯片制造产业的技术升级。

在国产化替代的核心战场,伍强的技术突破兼具学术深度与产业实用性。他深耕计算光刻与仿真技术领域,构建深紫外(DUV)光刻胶物理模型与极紫外(EUV)工艺仿真算法,成功研发了DUV EUV波长的光刻仿真软件CF Litho与光源-掩模版联合优化(SMO)软件CF SMO,打破了国外光刻仿真软件方面的垄断。在光刻胶材料领域,他推动高校研究所的材料研究与企业需求精准对接,成功合作研发了多款高端193nm光刻胶,并于202410月担任先进光刻胶材料教育部工程研究中心主任,成为国产化进程的重要推手。截至2025年,其团队累计获112项专利授权(含40项美国专利),发表论文超90篇,编著专著《衍射极限附近的光刻工艺》,《现代集成电路工厂中的先进光刻工艺研发方法与流程》,正在主持编撰集成电路工艺制造系列的丛书。系统梳理光刻技术全链条知识,成为连接学术研究与产业实践的核心著作。

▐ 产学研协同:链接创新链与产业链的桥梁搭建者

作为兼具学术界深度与产业经验的专家,伍强始终致力于打破实验室到产业场的转化壁垒。依托复旦大学学科优势,他牵头搭建光刻技术产学研协同平台,整合多学科力量构建学术-产业联动机制,联合行业内多家企业与科研机构展开技术攻关,在行业研讨中总结技术方向,为光刻胶国产化研发提供路径参考。

多年来,伍强深度参与产业实践,从阿斯麦(ASML)中国的先进光刻设备应用导入,到国内芯片企业的的工艺研发,再到如今依托高校平台联合行业伙伴开展研究。形成了技术研发-技术验证-量产落地的全链条参与模式。这种既懂技术原理,又通产业痛点的特质,使其在推动高校科研与企业需求匹配中发挥着不可替代的作用,完美契合上交会50智库链接创新资源的核心使命。

▐ 行业引领:政策建言与标准构建的智库实践者
在技术攻坚之外,伍强更以行业领军者身份参与产业顶层设计。作为国家“02”重大专项光刻机工程指挥部专家,他深度参与我国光刻技术发展规划制定,为政策出台提供一线技术支撑。在国际舞台上,他曾担任IWAPS(国际先进光刻技术研讨会)大会主席、ISTC(国际半导体技术大会)光刻分会主席、CSTIC(中国国际半导体技术大会)光刻分会副主席,牵头搭建中外技术交流桥梁并且做出了重要的技术报告,丰富了国内的产业实践。

针对产业发展痛点,伍强始终秉持问题导向的智库思维。结合多年行业经验,他在集成电路制造技术研讨中首先提出了设计-基础设施协同优化DICO)与跨学科人才培养的重要性,相关思路为产业协同创新提供了关键参考。这种从实践中来,到实践中去的建言能力,使其成为衔接技术创新、产业发展与政策制定的关键纽带。








如今,伍强以上交会50专家身份加入智库,将带着光刻技术的丰富经验与对国产化现状的深刻洞察,与推动集成电路技术国产化的经验与实践,为上交会搭建集成电路产业交流平台、推动中外技术合作、赋能中小企业创新提供核心智力支持,助力我国半导体产业在开放协同中实现高质量发展。

 关于“上交会50人




“上交会50人”依托中国(上海)国际技术进出口交易会(CSITF),汇聚人工智能、生物医药、海洋科技、新能源等前沿领域的顶尖力量,形成了以华东地区为核心辐射中国乃至全球的科技产业智库。

2024年11月6日,“上交会50人”IP正式对外发布。未来,“上交会50人”专家团队将继续扩充,通过组织专题研讨会、技术贸易服务、地方及企业走访调研、高端人才服务、供需对接服务和企业出海服务,为技术贸易和产业发展提供全方位支持。

  “上交会50人”IP系列活动 




IP系列活动将通过有效拓展企业朋友圈、挖掘产业场景应用、增加商业合作机会、扩大市场规模、提升品牌影响力并吸引国际化专业人才,从而推动地区经济与产业高质量发展。

  “上交会50人”城市点亮计划 




该计划是“上交会50人”IP系列活动的重要组成部分,将从重点行业领域、全球主要经济带、全球主要城市、大企业四个维度开展城市间互访。围绕前沿科技、未来产业方向开展广泛交流,助力园区和企业构筑开放、共赢的产业生态圈。

文字来源:瓴麟科技

【声明】内容源于网络
0
0
瓴麟科技
1234
内容 233
粉丝 0
瓴麟科技 1234
总阅读606
粉丝0
内容233