Point Electronic
透射电子显微镜(TEM)电学分析
TEM Electrical Analysis
用于纳米尺度下电学活动原位成像的系统。
设备亮点
将电学活动与高分辨率数据相关联
TEM中的电学分析在推动材料科学、纳米技术、器件开发和故障分析方面发挥着至关重要的作用,为纳米尺度材料和器件的行为与特性提供了深入的见解。
该系统是完全集成的软件控制系统,兼容所有带有外部扫描接口的TEM。得益于硬件和软件的整合,它能够放大、采集和分析所有电学信号。
优点:
➥ 采集系统兼容所有带外部扫描接口的TEM。
➥ 所有放大和采集设置由软件控制。
➥ 每个信号都会自动量化,并以电流值(µA, nA, pA)显示。
关键特点:
➥ 针对成像优化的快速放大。
➥ 广泛的增益范围,适用于所有技术。
➥ 微型化的样品台内电子设备。
➥ 自动信号路由。
该系统由硬件、软件和可选功能组成。
TEM中的电子束诱导电流(EBIC)
➥ 非弹性损失在薄片样品中诱导电子-空穴对
➥ 内部电场将电子和空穴分离
➥ 通过测量电流来获取EBIC STEM图像
内部电场
➥ 设备中的结和接触点分布
➥ 验证掺杂分布与设计的一致性
➥ 关联器件模型和参数
分析每层的电学特性
➥ 定位具有增加复合活性的位点
➥ 区分有电学活动和无电学活动的缺陷
➥ 配合高分辨率图像进行分析
基础物理参数测定
➥ 结点处的耗尽宽度
➥ 少数载流子的扩散长度
➥ 位错的复合强度
FIB样品筛选
➥ 应用标准的FIB工作流程进行原位电学测量
➥ 利用SEM中电学分析(EA)的宽视场选择目标
➥ 在SEM中验证薄片样品是否出现制备损伤
设备硬件
REVOLON TEM扫描控制器
➥ 集成扫描发生器和图像采集
➥ 大像素分辨率和高速扫描
➥ 第二级数字放大用于电学分析(EA)
➥ 同时输入BF、HAADF和电学分析(EA)信号
原位电学样品杆的电学分析(EA)电子设备
➥ 第一阶段模拟放大,确保最小噪声
➥ 广泛的增益范围,适用于所有电学分析技术和样品
➥ 内置电压偏置和电流补偿
➥ 自动信号路由,避免电气放电
➥ 可切换的低通滤波器用于信号过滤
➥ 自动零点调整
设备软件
电学分析(EA)图像采集软件
➥ 集成软件用于图像采集和放大器控制
➥ 高级工具用于色彩混合、电流-电压(IV)扫描和线扫描
➥ 已校准图像数据的检查和导出功能
DIPS6 图像处理
➥ 专用软件用于图像数据的显示
➥ 检查元数据中的采集设置
➥ 提取定量像素值
扫描控制软件
➥ 开放且独立的扫描参数和硬件同步访问
➥ 实时图像显示,包含所有同步信号
➥ 高级扫描模式,包括亚像素扫描和切换扫描
➥ 与Python集成,实现远程网络控制
关于Point Electronic
德国Point Electronic公司成立于1992年,公司总部位于德国哈雷(萨勒)的温伯格园区科技园,是一所Weinberg园区的一家大学附属公司,由一群物理学家领导,直到今天,我们拥有来自所有主要制造商的3000多台电子显微镜的安装案例,通过30多个合作伙伴的网络提供全球分销和服务。
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