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现场直击 | 拓荆科技CSEAC次日:SACVD与键合技术新进展引热议

现场直击 | 拓荆科技CSEAC次日:SACVD与键合技术新进展引热议 拓荆科技
2025-09-05
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导读:9月5日,CSEAC2025进入第二天,拓荆科技(A1-09)展台热度持续攀升。

9月5日,CSEAC2025进入第二天,拓荆科技(A1-09)展台热度持续攀升。今日的技术分享聚焦SACVD工艺与先进键合技术,吸引众多业内专家驻足交流。


> 今日聚焦:SACVD与键合技术新突破 

在上午的专题报告中,拓荆科技主管工程师刘镇颉以 SACVD and PESAF application introduction  为题,系统介绍了次常压化学气相沉积(SACVD)这一融合APCVD与LPCVD优势的创新工艺。重点分享了该技术在28nm及以上节点介质薄膜沟槽填充中的关键应用,以及拓荆科技推出的全套SACVD与PESAF工艺解决方案,其领先的性能表现满足了多节点制程的客户需求。


下午,拓荆科技3D IC 的工艺经理吴子祺带来报告 《Piotech键合技术新进展》系统介绍了三维集成关键技术的最新突破,聚焦混合键合、熔融键合及激光解键合等核心工艺。这些成果对构建自主可控的先进封装技术生态具有重要意义,引发在场听众的强烈兴趣。


> 明日预告:精彩收官场不容错过

10:30 :《PEALD Films for Advanced Patterning and Gap-fill》

诚邀各位同行继续莅临 A1-09 拓荆科技展位,把握最后交流机会,共话半导体装备创新未来。


明日精彩收官,期待您的光临!

共同助力中国半导体产业高质量发展。




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