上海新阳的产品线主要分为半导体材料及配套设备、涂料两大板块,以下是详细介绍:
一、半导体材料及配套设备
1.光刻胶
- 产品类型:覆盖I线、KRF(g线)、ARF干法及ARF浸没式光刻胶。
- 技术进展:KRF光刻胶已实现批量化销售,ARF浸没式光刻胶取得订单突破,部分型号可支持7nm制程多次曝光。
- 应用领域:适用于90-14nm逻辑与存储芯片制造、3D-IC先进封装等。
2.湿电子化学品
- 清洗液:实现14nm及以上制程全覆盖,28nm/14nm干法蚀刻后清洗液量产,非羟胺清洗液打破巴斯夫垄断。
- 电镀液及添加剂:覆盖90-14nm全节点,TSV电镀添加剂支持深宽比20:1微孔填充,是国内市占率领先的先进封装材料。
- 蚀刻液:高选择比氮化硅蚀刻液(选择性2000:1)用于3D NAND/DRAM制程,获主流客户认证。
3.化学机械抛光液(CMP研磨液)
- 产品系列:STI、W、Poly等系列在20余家客户验证,W研磨液验证顺利,部分产品已具备大规模量产性能。
4.配套设备
- 自主研发晶圆湿法制程设备及封装电镀设备,提供工艺优化与现场技术服务,增强整体解决方案能力。
二、涂料业务
- 产品类型:氟碳涂料、粉末涂料等,主要应用于工业防腐与装饰领域。
- 市场地位:该业务占总营收约29.81%,目前处于转型调整阶段,未来可能逐步剥离以聚焦半导体主业。
三、产品线特点
- 技术平台化:形成电子电镀、电子清洗、电子光刻、电子研磨四大技术平台,产品覆盖晶圆制造关键环节。
- 国产替代先锋:在清洗液、电镀液等领域打破国际垄断,光刻胶等高端产品加速国产化进程。
- 产能扩张:合肥基地及上海松江新基地建设推进,规划新增清洗液、蚀刻液、研磨液等产能,满足市场需求增长。
上海新阳通过持续技术创新和产能布局,逐步成为国内半导体材料领域的核心供应商,尤其在光刻胶、湿电子化学品等关键领域实现突破,助力国内半导体产业的自主可控发展。

