等离子压印蚀刻METAL MASH金属网格加工方法
一、基材的选择
METAL MASH工艺在光学器件中主要用于制作导电金属线路，目前常用的基材主要为玻璃和PET树脂。这两类材料不仅具备良好的透光性，还拥有较为稳定的物理及化学性能，已在透明ITO镀膜和显示器件产品中被广泛使用。
苹果的In-Cell触摸显示屏采用玻璃基体上制作METAL MASH层的技术，而大多数研发厂商则暂时选择PET树脂作为基材，以期实现ROLL TO ROLL工艺的大批量、低成本生产。
该加工方法对基材没有硬性要求，仅需确保其平整度满足微米或纳米级加工精度。市场上的大部分商品化基材都能符合这一要求。
二、金属层制作
METAL MASH金属网格使用的金属材料包括铜合金、铬合金、锡锌合金、银合金、金合金、钼铝钼组合合金、氧化锌、湨化银、纳米银丝、碳纳米管、石墨烯及纳米金属氧化物等。
金属层可通过蒸镀、溅镀、印刷、涂布或覆合等方式，在玻璃、PET、PC、PMMA或PI等基材上形成导电膜。
三、阻蚀油墨涂覆
1、阻蚀油墨涂覆方法多样，常见的方式包括丝网印刷、旋转涂布、滚筒涂布、刮涂、浸涂等。
相比化学蚀刻，微压印蚀刻工艺对阻蚀油墨的表面均匀性要求略低，因此允许一定范围内的表面粗糙度。选择加工方式时应结合油墨粘度、生产工艺及成本效率综合考虑。
对于熟悉干法工艺的厂家，建议使用可机械剥离或强氧化去除的阻蚀油墨；熟悉湿法工艺的厂家，则适合使用化学反应去除型油墨。
2、涂覆过程中的难点：
METAL MASH网格宽度通常仅为几微米，因此阻蚀油墨填充物粒子直径必须小于加工宽度的四分之一，以确保良品率。
在丝网印刷工艺中，所选用的高粘度油墨可能添加较多增粘剂及其他助剂，这些成分不应与网浆材料发生反应。
同时，固化后的网浆材料应具有优异的保形性和耐磨性，并确保其填充粒子直径控制在允许范围内，以防混入阻蚀油墨影响后续工艺。
其他如旋转涂布、滚筒涂布等工艺则需要低粘度油墨，其中溶剂或助剂的添加应确保生产环境的安全。
由于现有无尘车间仍无法完全杜绝微米级尘埃，且加工过程中的走动、搬运、设备运作均会制造粉尘，因此在选择油墨主剂或溶剂时需兼顾其与容治具的稳定性与抗反应能力，以减少污染风险。
为提升产品质量，加工环境及其相关物品和设备必须进行严格管控，最大限度地降低外来污染物的影响。