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深耕真空装备,赋能流体产业|2026上海流体机械展圆满落幕!

深耕真空装备,赋能流体产业|2026上海流体机械展圆满落幕! 中国科学院沈阳科仪
2026-10-29
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导读:10月23日,第十三届中国(上海)国际流体机械展览会顺利落幕!


10月23日,第十三届中国(上海)国际流体机械展览会顺利落幕!本届展会以“融智流体新生态·链通全球新机遇”为主题,聚焦流体机械行业新需求、新市场和新业态,彰显中国通用机械行业硬核实力,向世界呈现了中国通用机械行业市场的蓬勃活力与发展潜力,是中国境内流体机械行业规模最大、权威性最高的专业展览会之一,被誉为中国“流体机械行业风向标”。作为干式真空泵领域参展企业,中科仪携多款干式真空泵重磅登场,集中展示前沿研发成果与国产化落地进程,以国产高端真空装备,赋能工业行业流体输送制程可持续发展。



干式真空泵重点布局泛半导体及普通工业领域,为集成电路、光伏硅片制备、电池片镀膜等一系列工艺制备设备提供高洁净真空环境,亦是普通工业制造产业链不可或缺的核心关键零部件。

中科仪自主研发制造的干式真空泵具有洁净无油、运行稳定、高效节能、综合性能优异、运维成本低廉等优势,可充分适配普通工业各类严苛生产工况。目前产品已在国内众多高校、科研院所及行业头部企业实现规模化批量应用,在真空科研领域的累计装机量已达1万台。

面向未来,中科仪将持续加大研发投入,加速产品迭代与技术创新,深化产业链上下游协同,拓宽产业合作边界。依托设备稳定可靠的运行表现、优异的能耗管控水平、智能化运维体系等核心优势,助力工业企业提质增效、降本降耗,为工业全流程生产提供坚实的国产装备支撑。



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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中科仪创立于1958年,拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台。公司以洁净真空、超高真空技术为基础,面向高端科研仪器、光伏、半导体、LED等战略新兴领域,是集研发、生产、销售、服务为一体的科技创新型企业,为国家战略性新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。

上海上凯仪真空技术有限公司

上海上凯仪成立于2013年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营干式真空泵及各类真空设备维保业务,可承接多品牌干泵维修,为泛半导体领域客户提供返厂大修、现场维保、故障排查等全周期服务。

中科仪(南通)半导体设备有限责任公司

中科仪(南通)成立于2020年,为中科仪旗下全资子公司。公司以干式真空泵产品为主营业务,产品洁净无油、稳定可靠、效率高、能耗低,可为泛半导体领域提供一站式真空技术解决方案。

中科仪(广州)半导体设备有限责任公司

中科仪(广州)成立于2023年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营复合式大抽速干泵、大腔室快抽速干式螺杆真空泵、subfab附属设备的研发与产业化。

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  • 国家分子束外延技术开发实验基地

  • 国家专精特新“小巨人”企业

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  • 中国集成电路零部件创新联盟 -副理事长单位 

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