中科仪与吴越物芯签署战略合作协议，附属设备合作落地

10月10日，中科仪与吴越物芯在江苏南通举行战略合作签约仪式。双方将围绕干式真空泵、Chiller、Scrubber等附属设备的配套与应用开展合作，共同服务集成电路产业链。

中科仪总经理王光玉、中科仪（南通）总经理孔祥玲、吴越物芯总经理罗海龙、厂长陶永钧等双方高层领导及核心技术、管理团队出席签约仪式。

签约仪式上，中科仪总经理王光玉谈到，集成电路设备涉及多环节配套，单靠一家企业难以覆盖全部工艺需求，上下游协同是行业共识。通过双方紧密协作，必将为客户创造更大价值。

吴越物芯总经理罗海龙表示，此次合作基于双方业务上的互补性，后续将按约定推进各项工作落实，逐步形成稳定的合作模式，实现双方共赢。

干式真空泵、Chiller、Scrubber是晶圆厂附属设备（subfab）的三大核心品类，分别承担真空获得、工艺温控和尾气处理功能，其运行稳定性直接影响产线良率。中科仪长期专注于干式真空泵及附属设备的研发与制造，可为泛半导体领域提供一站式真空与附属设备解决方案，吴越物芯在集成电路制造环节拥有产线实践与工艺经验。双方的强强联合，将进一步打通附属设备配套、工艺适配、技术攻关等环节，为行业创造更大价值。

下一步，中科仪将继续推进与产业链上下游企业的合作，围绕客户实际工艺需求改进产品，提升设备配套服务能力。

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