中科卓尔完成数亿元 B + 轮融资，加速高端石英空白掩模版量产突围

近日，成都中科卓尔智能科技集团有限公司（下称“中科卓尔”）完成数亿元B+轮融资，投资方包括中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资。

本轮融资将重点用于高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设：一方面，加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺结合的自主迭代；另一方面，进一步打通从材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力，加速推进公司从技术验证向规模化量产的跨越，全力满足国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全供应链的迫切需求。

中科卓尔成立于2018年，总部位于四川省成都市武侯区，是一家精密光学及自动化技术研发商，围绕芯和屏技术领域解决高端光电检测与工艺设备国产化需求。

创始人杨伟博士曾任职于中科院，在中科院青年创新促进会面向国民经济主战场的影响和号召下创立公司。核心技术团队主要来自中国科学院光电技术研究所，承接过国家多项重点研发项目、02专项等，拥有十余年产业积淀。

公司攻克了超精密抛光与真空镀膜技术，自主研制磁控溅射镀膜装备并获首台套产品认定。当前已构建“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链闭环，具备从工艺到核心装备的自主研发生产能力，正加速推进高端石英空白掩模版从技术验证向规模化量产跨越。

公司自主研制的磁控溅射镀膜装备获得首台套产品认定，建有掩模版基板企业技术中心和高新区中试平台，并与电子科技大学共建联合实验室。目前已越过技术验证阶段，处于量产拐点，下游客户验证顺利推进，正加速推动高端石英空白掩模版国产化量产进程。

高端石英空白掩模版国产化率极低，正迎来验证导入与产能落地的关键窗口期。

2025年半导体掩膜版国内市场空间达百亿元量级，2025年中国半导体掩膜版需求约6.95亿美元。空白掩膜版是技术壁垒最高的环节，被美日韩企业长期垄断，石英基板需达到亚纳米级平整度与极低缺陷密度；当前国内半导体掩膜版整体国产化率约10%、高端仅约3%；空白掩膜版ArF基板国产化率几乎为零、EUV基板处于禁运状态；2026年是验证导入与产能落地的关键窗口。