邀请函|2026中国物理学会秋季学术会议

 关于我们

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中科仪创立于1958年，拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台。公司以洁净真空、超高真空技术为基础，面向高端科研仪器、光伏、半导体、LED等战略新兴领域，是集研发、生产、销售、服务为一体的科技创新型企业，为国家战略性新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。

上海上凯仪真空技术有限公司

上海上凯仪成立于2013年，为中科仪旗下全资子公司。公司主营干式真空泵及各类真空设备维保业务，可承接多品牌干泵维修，为泛半导体领域客户提供返厂大修、现场维保、故障排查等全周期服务。

中科仪（南通）半导体设备有限责任公司

中科仪（南通）成立于2020年，为中科仪旗下全资子公司。公司以干式真空泵产品为主营业务，产品洁净无油、稳定可靠、效率高、能耗低，可为泛半导体领域提供一站式真空技术解决方案。

中科仪（广州）半导体设备有限责任公司

中科仪（广州）成立于2023年，为中科仪旗下全资子公司。公司主营复合式大抽速干泵、大腔室快抽速干式螺杆真空泵、subfab附属设备的研发与产业化。