蚀刻液，是半导体行业用来在晶圆上雕刻出极微小电路图形的专用化学药水。最近，江阴高新区企业中德电子迎来关键性进展：经过多批量反复测试，企业研发的铬蚀刻液取得新突破，该产品利用首创技术实现了蚀刻液“自净化”，寿命更长、稳定性更高、杂质更少，可广泛应用于12英寸晶圆制造、先进封装光掩模制备、高端OLED显示面板等领域，填补了国内高端铬蚀刻液技术空白，实现进口替代。
当前，半导体行业AI驱动的产业趋势并未改变。据企业负责人介绍，成熟制程对功能性蚀刻液需求型号多、品类杂，高度依赖定制开发。作为润玛股份布局新一代微电子湿电子化学品的先进制造平台，中德电子多年深耕湿电子化学材料的研发与生产，已形成多项自主发明专利，推动多款高端湿电子化学品实现国产化落地。在高端湿电子化学品加速国产替代、本土封测产能持续扩张的双重窗口期，企业正把技术积累转化为市场竞争主动权。
这份“定制”能力最近有了更具象的落点。除了铬蚀刻液的突破，企业制造的高性能钛腐蚀液产品也一举攻克了传统高浓度氢氟酸侧蚀严重、需加热、安全隐患大等技术痛点，打破国外垄断，解决了“卡脖子”难题，目前已通过多家客户验证，市场导入稳步推进。研发技术在进步，制造工艺也在提速。中德电子的全自动化生产车间内，封闭式的物料输送复配系统正有条不紊地运转。据介绍，这套系统在精度和效率上明显优于传统生产模式，从原料投料、复配，到成品提纯、分装，各环节均可在密闭设备自动完成。
产能也在“踩油门”。记者了解到，企业现有的3.5万吨产能已全部满产，对新项目投产的需求十分迫切，目前二期项目即将验收投产，可年产高性能蚀刻液、光刻胶剥离及清洗配套试剂等核心湿电子化学品6.5万吨，全面满足12英寸集成电路制造、大尺寸平板显示领域客户对高端材料的配套需求。据介绍，二期项目将在两年内逐步释放产能，全部投产后预计可实现年营收15亿元、年利润2亿元。
依托母公司润玛股份承担众多国家级科研项目积累的技术底蕴，以及负责主导起草十多项国家标准、行业标准的行业积淀，中德电子在二期项目中进一步升级了生产工艺，丰富了产品矩阵。“6.5万吨项目围绕功能型高端材料布局，这类材料技术门槛高，属于半导体产业链中典型的‘卡脖子’环节，投产后将大幅提升公司核心竞争力，巩固公司在业内的技术地位。”江苏中德电子材料科技有限公司董事长戈士勇说。
制造能力的升级，离不开检测端的同步支撑。在同期扩建的研发中心内，记者看到，近30台进口检测设备已经整装待发。“升级引入的电感耦合等离子体质谱仪，能将金属杂质检测精度从原有百万分之一级别提升至万亿分之一级别，同时自动化检测将大幅节省人工成本，让数据处理更加精准、高效、便捷。”江苏中德电子材料科技有限公司研发中心主管符卫南介绍。（唐芸芸）
文章来源：无锡日报
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