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北方华创、中微、拓荆都在押注混合键合,国产设备走到哪了?

北方华创、中微、拓荆都在押注混合键合,国产设备走到哪了? 半导体产业报告
2026-10-19
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导读:一张先进封装的入场券,正在从“有没有设备”变成“能不能在客户产线上稳定跑起来”。

先进封装领域的竞争焦点,正从“设备有无”转向“产线稳定运行能力”。

10月16日,北方华创宣布以4.046亿元现金全资收购北京诺合键维;中微公司计划最多出资3500万元参股键合设备公司iSABers;拓荆科技则完成对子公司拓荆键科的增资,保持53.57%的控股地位。三家头部设备厂商通过收购、参股及控股扩产等方式,共同瞄准10微米以下先进封装所需的混合键合工艺链缺口。

10微米以下,封装工艺迎来技术换挡

在40微米至10微米间距区间,热压键合尚能胜任。但当间距进一步缩小,铜与介质层需同时接合,混合键合技术成为必然选择。此时,技术难点从简单的物理压合,转变为对晶圆表面平整度、洁净度、对准精度以及键合后缺陷控制的极高要求。

国内率先落地的需求主要集中在晶圆对晶圆(W2W)路线。例如,3D NAND将存储阵列与CMOS外围电路分开制造后结合,4F2 DRAM需将存储单元层与外围逻辑层堆叠,此外华为LogicFolding也被列为相关应用场景。这些工艺并非单颗芯粒贴装,而是整片晶圆进入工艺链进行加工。

拓荆科技:率先占据W2W市场身位

拓荆科技的技术路径最接近量产应用。其子公司拓荆键科的Dione 300晶圆对晶圆混合键合设备,已获得长江存储采用并产生重复订单;配套的Propus 300表面处理设备已实现商业化;面向芯粒对晶圆(D2W)的Pleione 300设备目前正处于客户验证阶段。

这一产品矩阵的意义在于构建了完整的工艺闭环。W2W产线需依次完成表面清洗、活化、对准、键合及量测确认。任一环节不稳定均可能导致整片晶圆器件失效。拓荆通过将键合机与前道表面处理设备协同推入客户产线,实现了从单机销售向整段工艺验证的跨越。

Dione 300聚焦晶圆对晶圆混合键合

中微公司与北方华创:差异化布局补齐短板

iSABers的SAB82设备覆盖芯粒对晶圆及晶圆对晶圆混合键合,支持10微米以下铜对铜间距,主要面向Chiplet所需的“已知良品芯粒”集成。中微公司通过参股获得少数股权及潜在入口,后续能否形成业务协同,取决于客户导入进度及设备交付情况。

北方华创则选择直接买下诺合键维100%股权。标的公司拥有光学对准、补偿算法、运动与振动控制、键合头等核心技术,但仍处于早期阶段:2026年上半年尚无收入,且未披露具体客户名称、出货量及良率数据。这是一笔旨在补齐平台能力的收购,实际产线表现仍有待验证。

SAB62面向晶圆级混合键合场景

竞争分水岭:客户产线上的完整闭环能力

混合键合领域不缺概念,缺的是实测产线数据。当前报告未披露国产设备的具体市场份额、累计出货量或客户良率。相较于交易金额,市场更应关注三类关键信号:拓荆科技能否持续获取重复订单;iSABers能否披露更多客户验证进展;北方华创收购的平台能否交出稳定的出货及量产数据。

结语:交易金额并非最终成绩单

国产混合键合设备虽已取得赛道入场券,但量产胜负仅初现轮廓。真正决定成败的第一张成绩单,将体现在客户产线的良率、生产节拍及重复订单数量上。

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